[實(shí)用新型]一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620070161.2
• 申請(qǐng)日: 2016-01-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205347560U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張俞
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 張俞
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/00
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/00;H01L31/18
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技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池片(包括薄膜太陽(yáng)能電池)制造裝備、等離子刻蝕、真空反應(yīng)腔密閉技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)門(mén)板與墻壁貼合不緊密，反應(yīng)室很難實(shí)現(xiàn)真空倉(cāng)體，不利于太陽(yáng)能電池表面鍍膜；另外傳統(tǒng)的不是彈性結(jié)構(gòu)，門(mén)板密封沒(méi)有自復(fù)位功能，上門(mén)板、下門(mén)板、轉(zhuǎn)軸、門(mén)框表面易被腐蝕，門(mén)板的冷卻效果差；導(dǎo)致壽命降低，增加生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容

現(xiàn)有技術(shù)難以滿足人們的需要，為了解決上述存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提出了一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)。

為實(shí)現(xiàn)該技術(shù)目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)，包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括氣缸、第一連桿、第二連桿、第三連桿、第四連桿和軸銷(xiāo)；所述氣缸的推動(dòng)桿與第四連桿連接，第四連桿的底端與第三連桿鉸接，所述第三連桿的頂端通過(guò)軸銷(xiāo)與第二連桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一連桿與第三連桿的頂端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一連桿的右端與密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；

所述密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、右傳動(dòng)軸套、右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座、旋轉(zhuǎn)密封圈、張緊組合外套、張緊組合內(nèi)套、通冷卻水口、張緊組合環(huán)、旋轉(zhuǎn)密封圈隔套、張緊組合摩擦盤(pán)、左座蓋滑動(dòng)軸套和端面密封壓蓋；所述右傳動(dòng)軸套套設(shè)在轉(zhuǎn)軸的右端，所述右傳動(dòng)軸套設(shè)置在右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座內(nèi)，在所述右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座內(nèi)部右端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)密封圈和旋轉(zhuǎn)密封圈隔套；所述張緊組合外套、張緊組合內(nèi)套、張緊組合環(huán)和張緊組合摩擦盤(pán)套設(shè)在轉(zhuǎn)軸上，并設(shè)置在右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座的右端；所述通冷卻水口開(kāi)設(shè)在轉(zhuǎn)軸軸心位置的右端，轉(zhuǎn)軸軸心處設(shè)置有管道；在轉(zhuǎn)軸的左端設(shè)置有左座蓋滑動(dòng)軸套和端面密封壓蓋，所述左座蓋滑動(dòng)軸套套設(shè)在轉(zhuǎn)軸的左端，所述端面密封壓蓋卡套在左座蓋滑動(dòng)軸套上；

所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)活動(dòng)翻板連接模塊、翻板進(jìn)水模塊、螺母、螺柱、墊圈、球面墊圈、錐面墊圈和蝶形彈簧；所述螺母的與螺柱的左端連接，所述螺柱連接活動(dòng)翻板連接模塊蓋板與下門(mén)板；在螺柱的右端依次套設(shè)有球面墊圈、錐面墊圈、蝶形彈簧和墊圈；

所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與上門(mén)板連接，上門(mén)板通過(guò)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與下門(mén)板連接，所述上門(mén)板和下門(mén)板設(shè)置在門(mén)框內(nèi)。

進(jìn)一步，所述螺母、螺柱、墊圈、球面墊圈和錐面墊圈均采用不銹鋼材質(zhì)制成。

進(jìn)一步，所述上門(mén)板、下門(mén)板、轉(zhuǎn)軸和門(mén)框的表面均噴涂特氟龍或氧化鋁涂層。

進(jìn)一步，所述上門(mén)板和下門(mén)板內(nèi)設(shè)置有冷卻管道。

進(jìn)一步，所述所述活動(dòng)翻板連接模塊有大小之分，在兩個(gè)大的活動(dòng)翻板連接模塊之間設(shè)置有翻板進(jìn)水模塊，在兩個(gè)大的活動(dòng)翻板連接模塊兩側(cè)連接有若干小翻板連接模塊。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：利用蝶形彈簧的伸縮性和大彈性系數(shù)讓下門(mén)板與墻體壁貼合緊密，即使整個(gè)翻板系統(tǒng)有一些變形，蝶形彈簧相當(dāng)于可伸長(zhǎng)的壓緊螺釘，恢復(fù)上門(mén)板對(duì)下門(mén)板的壓緊；因?yàn)榍惑w內(nèi)溫度很高，通冷卻水口，經(jīng)過(guò)上門(mén)板和下門(mén)板的冷卻管道，對(duì)上門(mén)板和下門(mén)板冷卻；上門(mén)板、下門(mén)板、轉(zhuǎn)軸、門(mén)框表面噴涂特氟龍或氧化鋁涂層，防止腔體內(nèi)高能粒子對(duì)屏蔽門(mén)的腐蝕；該太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)操作簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)，易于推廣使用。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的氣缸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的第二連桿結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的活動(dòng)翻板連接模塊安裝示意圖；

圖4為本實(shí)用新型的門(mén)板連接示意圖；

圖5為本實(shí)用新型的轉(zhuǎn)軸連接示意圖；

圖6為本實(shí)用新型的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)示意圖；

圖7為圖5中A的局部放大圖；

附圖標(biāo)記中：1-氣缸、11-第一連桿、12-第二連桿、13-第三連桿、14-第四連桿、121-軸銷(xiāo)、2-上門(mén)板、3-下門(mén)板、4-門(mén)框、5-活動(dòng)翻板連接模塊、51-翻板進(jìn)水模塊、52-螺母、53-螺柱、54-墊圈、55-球面墊圈、56-錐面墊圈、57-蝶形彈簧、6-轉(zhuǎn)軸、61-右傳動(dòng)軸套、62-右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座、63-旋轉(zhuǎn)密封圈、64-張緊組合外套、65-張緊組合內(nèi)套、66-通冷卻水口、67-張緊組合環(huán)、68-旋轉(zhuǎn)密封圈隔套、69-張緊組合摩擦盤(pán)、610-左座蓋滑動(dòng)軸套、611-端面密封壓蓋。

具體實(shí)施方式