[實(shí)用新型]一種硅片切割裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620069790.3
• 申請(qǐng)日: 2016-01-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205364256U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王平軍;張濤;郭棟;檀玉斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江西賽維LDK太陽(yáng)能高科技有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片加工領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片切割裝置。

背景技術(shù)

目前，現(xiàn)有的硅片多線切割方法是指通過(guò)高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在上面的切割刃料對(duì)硅錠或硅塊進(jìn)行摩擦，從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)過(guò)程中，切割鋼線通過(guò)十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在導(dǎo)線輪上形成一張切割鋼線網(wǎng)，而待加工的硅錠或硅塊通過(guò)工作臺(tái)從上至下的運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)硅錠或硅塊的進(jìn)給，以將硅錠或硅塊切割成數(shù)以千計(jì)的薄片。

常用的硅片切割裝置一般包括切割室、回流缸系統(tǒng)和砂漿缸，回流缸系統(tǒng)包括回流缸、熱交換器和電機(jī)等設(shè)備，該硅片切割機(jī)在運(yùn)行時(shí)，切割室中的砂漿會(huì)先進(jìn)入回流缸系統(tǒng)中，然后通過(guò)回流缸系統(tǒng)再進(jìn)入砂漿缸中，技術(shù)人員認(rèn)為回流缸系統(tǒng)可以起到降低砂漿中雜質(zhì)的作用，但實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，回流缸系統(tǒng)很難顯著地降低砂漿中的雜質(zhì)，另外，由于使用了回流缸系統(tǒng)，會(huì)增加砂漿循環(huán)系統(tǒng)中總的漿料量，導(dǎo)致切割輔料成本的浪費(fèi)；同時(shí)由于回流缸控制系統(tǒng)較為繁雜，增加了切割過(guò)程報(bào)警停機(jī)的幾率，導(dǎo)致硅片切割良品率的下降。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型旨在提供一種硅片切割裝置，所述硅片切割機(jī)裝置不包括回流缸系統(tǒng)，將切割室與砂漿缸直接連接，切割室中的砂漿直接進(jìn)入回流缸系統(tǒng)中，大大降低了硅片的切割成本。

本實(shí)用新型提供了一種硅片切割裝置，包括切割室和砂漿缸，所述切割室與所述砂漿缸通過(guò)管道連接。

優(yōu)選地，所述切割室設(shè)有出口，所述砂漿缸設(shè)有入口，所述管道的一端與所述切割室的出口連接，所述管道的另一端與所述切割室的入口連接。

更優(yōu)選地，所述切割室出口的高度大于所述砂漿缸的液位高度。

通過(guò)降低所述砂漿缸的高度或者提高所述切割室的高度，以使所述切割室出口的高度大于所述砂漿缸的液位高度。

當(dāng)所述切割室出口的高度大于所述砂漿缸的液位高度時(shí)，所述切割室中的砂漿會(huì)自動(dòng)從所述切割室流到所述砂漿缸，進(jìn)一步降低了硅片切割成本。

在線鋸切割機(jī)的切割過(guò)程中，由于多(單)晶硅為堅(jiān)硬的脆性材料，其難免會(huì)產(chǎn)生切割碎片，而且也有未清理干凈的被剪斷的碎鋼線留在切割室內(nèi)，所以砂漿在經(jīng)過(guò)切割室時(shí)，需要利用過(guò)濾網(wǎng)裝置過(guò)濾掉其攜帶的碎片和碎鋼線。

優(yōu)選地，所述切割室中設(shè)有過(guò)濾板，所述過(guò)濾板用于去除從所述切割室輸出的所述砂漿中的雜質(zhì)。

在所述切割室中設(shè)置的過(guò)濾板，減少了砂漿中懸浮雜質(zhì)的量，有利于減小硅塊切割中雜質(zhì)對(duì)鋼線和硅片質(zhì)量的不利影響，即有利于避免雜質(zhì)引起鋼線網(wǎng)跳線，延長(zhǎng)鋼線使用壽命和提高硅片切割面質(zhì)量。

優(yōu)選地，所述過(guò)濾板包括過(guò)濾網(wǎng)支撐體和過(guò)濾網(wǎng)，所述過(guò)濾網(wǎng)支撐體包括中空框架以及由中空框架一側(cè)延伸而成的平板，所述中空框架中設(shè)有用于容納所述過(guò)濾網(wǎng)的空間。

優(yōu)選地，所述中空框架包括邊框，所述邊框內(nèi)側(cè)設(shè)有卡邊，所述過(guò)濾網(wǎng)卡設(shè)在所述卡邊上。

優(yōu)選地，所述中空框架相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)所述邊框之間設(shè)有隔板，所述隔板上設(shè)有用于壓緊所述過(guò)濾網(wǎng)的壓板。

優(yōu)選地，所述壓板的截面為T形。

優(yōu)選地，所述過(guò)濾板通過(guò)膠與所述切割室的內(nèi)壁固定連接。

優(yōu)選地，所述砂漿缸還設(shè)有出口，所述出口通過(guò)另一管道與所述切割室連接，用于將砂漿運(yùn)輸?shù)剿銮懈钍抑袑?shí)現(xiàn)砂漿的循環(huán)。

現(xiàn)有技術(shù)由于硅片切割裝置中的切割室的液位高度較低，砂漿無(wú)法自流到砂漿缸中，因此需要使用回流缸系統(tǒng)。本實(shí)用新型提供的硅片切割裝置不包括現(xiàn)有技術(shù)常用的回流缸系統(tǒng)，通過(guò)將所述切割室與所述砂漿缸直接連接，避免了回流缸系統(tǒng)的各項(xiàng)報(bào)警，減少了砂漿循環(huán)系統(tǒng)內(nèi)的漿料量，大大降低切割輔料成本。另外，由于本實(shí)用新型取消回流缸系統(tǒng)，杜絕了清洗回流缸系統(tǒng)的砂漿排放、降低了車間的化學(xué)需氧量(COD)排放。

綜上，本實(shí)用新型有益效果包括：

本實(shí)用新型提供的硅片切割裝置不用設(shè)置回流缸系統(tǒng)，大大降低了切割輔料的成本，同時(shí)，本實(shí)用新型的硅片切割裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于制造和使用。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的硅片切割裝置示意圖；

圖2為本實(shí)用新型提供的硅片切割裝置示意圖；

圖3為現(xiàn)有技術(shù)的過(guò)濾板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型提供的過(guò)濾板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型提供的過(guò)濾網(wǎng)支撐體的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型提供的過(guò)濾網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式