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[實用新型]單機單機械手多工位自動曝光設備有效

專利信息
申請號: 201620066803.1 申請日: 2016-01-22
公開(公告)號: CN205526641U 公開(公告)日: 2016-08-31
發明(設計)人: 張偉;趙華;徐巍;王翰文;馬汝治 申請(專利權)人: 江蘇影速光電技術有限公司
主分類號: B65G47/91 分類號: B65G47/91;G03F7/20
代理公司: 徐州市三聯專利事務所 32220 代理人: 周愛芳
地址: 221399 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 單機 機械手 多工位 自動 曝光 設備
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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