[實用新型]一種硅晶棒倒角設備

有效

• 申請號: 201620065273.9
• 申請日: 2016-01-22
• 公開（公告）號: CN205325366U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 孫明祥
• 申請（專利權）人: 浙江好亞能源股份有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/00
• 代理公司: 嘉興海創專利代理事務所(普通合伙) 33251
• 代理人: 鄭文濤

技術領域

本實用新型屬于硅晶片制造技術領域，具體涉及一種硅晶棒倒角設備。

背景技術

在硅晶片生產制造的過程中，需要將硅晶棒進行切片，但是在切片之前為了保證切片后硅晶片的質量需要將硅晶棒倒角，未倒角的硅晶棒切片后的硅晶片邊緣表面會存在有棱角毛刺崩邊甚至有裂縫等缺陷，邊緣表面比較粗糙，為了增加硅晶片邊緣表面機械強度、減少顆粒污染，因此需要將硅晶棒的邊緣磨削呈圓弧狀或梯形。倒角工序大都在硅晶棒倒角設備上進行，在倒角時，對硅晶棒一棱角打磨完成后需要將硅晶棒翻轉90度，再對另一棱角進行打磨。現有的一種硅晶棒倒角設備包括機體，機體上設有用于放置硅晶棒的V形槽，V形槽的下方設有安裝于機體內的打磨組件，V形槽的上方設有用于將硅晶棒翻轉的翻轉機構，所述翻轉機構包括固定在機體上的支架、水平設置的第一活動板、驅動第一活動板上下移動的第一氣缸、兩相對設置的第二活動板、固定在所述第一活動板上的用于驅動兩第二活動板相向或相離運動的第二氣缸，所述第二氣缸為兩端均設有氣缸桿的雙軸氣缸，兩第二活動板內側相對位置裝設有適于夾持硅晶棒的夾塊，各夾塊可繞自身軸線轉動，其中一夾塊由驅動電機驅動旋轉。該設備在運行時，將硅晶棒放入V形槽內，通過打磨組件對硅晶棒的下棱角進行打磨，打磨完成后通過翻轉機構將硅晶棒翻轉90度再對下一棱角打磨，具體在翻轉時，先由第一氣缸帶動第二活動板下移使夾塊處于與硅晶棒兩端中心相對的位置，然后第二氣缸帶動兩第二活動板相向移動并由兩夾塊夾緊硅晶棒，再通過第一氣缸帶動向上移動一定高度后，由驅動電機驅動帶動硅晶棒轉動90度后將硅晶棒放入V形槽內由打磨組件繼續打磨，此翻轉打磨步驟循環三次即可將硅晶棒的四個棱角打磨完畢。上述硅晶棒倒角設備存在的問題是，第二活動板始終處于懸空，僅通過氣缸桿與第二氣缸連接，這樣一來，在翻轉硅晶棒時，硅晶棒重量是由第二氣缸的氣缸桿在承受，長期使用后氣缸桿難免會發生彎曲變形，進而無法正常伸縮，影響了設備正常工作。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，克服現有技術的缺陷，提供一種結構合理的硅晶棒倒角設備，從而能夠有效避免其上翻轉機構在翻轉工作過程中，第二氣缸的氣缸桿發生彎曲變形。

為解決上述技術問題，本實用新型提出一種硅晶棒倒角設備，包括機體，機體上設有用于放置晶棒的V形槽，V形槽的下方設有安裝于機體內的打磨組件，V形槽的上方設有用于將硅晶棒翻轉的翻轉機構，所述翻轉機構包括固定在機體上的支架、水平設置的第一活動板、驅動第一活動板上下移動的第一氣缸、兩相對設置的第二活動板、固定在所述第一活動板上的用于驅動兩第二活動板相向或相離運動的第二氣缸，所述第二氣缸為兩端均設有氣缸桿的雙軸氣缸，兩第二活動板內側相對位置裝設有適于夾持硅晶棒的夾塊，各夾塊可繞自身軸線轉動，其中一夾塊由驅動電機驅動旋轉；第一活動板上設有沿第二氣缸軸向設置的燕尾凸臺或/和燕尾槽，所述第二活動板的上端設有適于與所述燕尾凸臺或/和燕尾槽滑動配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺。

采用上述結構后，與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：所述第一活動板上設有沿第二氣缸軸向設置的燕尾凸臺或/和燕尾槽，所述第二活動板的上端設有適于與所述燕尾凸臺或/和燕尾槽滑動配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺，這樣通過燕尾凸臺與燕尾槽的配合從而將第一活動板與第二活動板活動連接，所述第二活動板在受第二氣缸驅使移動的過程中，燕尾凸臺與對應的燕尾槽位置隨之發生相對移動，在翻轉硅晶棒時，硅晶棒的重量由第一活動板和第二氣缸的氣缸桿共同承擔，從而能夠避免僅由第二氣缸的氣缸桿承受硅晶棒重量時容易發生彎曲變形的問題；實際操作中，為了減小燕尾凸臺與燕尾槽間的摩擦力，可在兩者之間設置滾輪。

作為改進，第二氣缸通過螺栓組件固定在第一活動板上，所述第一活動板上對應安裝第二氣缸的位置設有定位凸臺，所述第二氣缸上設有與所述定位凸臺配合的定位槽，這樣，將定位凸臺與定位槽配合后，能夠將第二氣缸快速定位，從而便于第二氣缸上的螺孔與第一活動板上的螺孔對齊，方便螺栓組件固定。

作為改進，螺栓組件包括緊固螺栓和與之配合的彈性墊片及力矩螺母，這樣一來就能夠將第二氣缸牢靠的固定在第一活動板上。

附圖說明

圖1為本實用新型中硅晶棒倒角設備的結構示意圖。

圖2為本實用新型的硅晶棒倒角設備中，所述第一活動板與第二活動板連接時的正向視圖。