[實(shí)用新型]供氣嘴檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620064828.8
• 申請(qǐng)日: 2016-01-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205300626U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉洋;孫健;胡賢夫;陳策;孫靜;蔡燦
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昆山國(guó)顯光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01D21/00
• 分類(lèi)號(hào): G01D21/00
• 代理公司: 北京匯思誠(chéng)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444
• 代理人: 王剛;龔敏

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種供氣嘴檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

在低溫多晶硅工藝中，出于改善TFT(薄膜晶體管)閾值電壓及其他 電學(xué)特性考慮，離子注入發(fā)揮著非常重要的作用。在高真空高電壓環(huán)境中 對(duì)特氣供氣嘴的性能也提出了嚴(yán)格的要求。因此，供氣嘴在使用前需要 進(jìn)行嚴(yán)格的檢測(cè)，合格后才能夠使用。

相關(guān)技術(shù)中，一般檢測(cè)是通過(guò)人工按照操作流程手持供氣嘴，并用氣 槍對(duì)著供氣嘴噴氣來(lái)以此確認(rèn)是否通氣。

但這種檢測(cè)方式操作繁瑣，并且檢測(cè)誤差較大。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N供氣嘴檢測(cè)裝置，能夠提高檢測(cè)精度。

本申請(qǐng)所提供的供氣嘴檢測(cè)裝置，包括供氣管路以及檢測(cè)單元，所述 檢測(cè)單元包括供氣流量計(jì)、用于固定供氣嘴底部的供氣嘴固定座、檢測(cè)管 以及檢測(cè)流量計(jì)，

所述供氣管路與所述供氣流量計(jì)相連，所述供氣流量計(jì)與所述供氣嘴 固定座相連，用于將來(lái)自所述供氣管路的檢測(cè)用氣輸送至供氣嘴的底部，

所述檢測(cè)管的管口設(shè)置在與供氣嘴的噴嘴相對(duì)的位置，以使噴嘴噴出 的檢測(cè)用氣能夠吹入所述檢測(cè)管內(nèi)，所述檢測(cè)管與所述檢測(cè)流量計(jì)相連。

優(yōu)選地，所述檢測(cè)單元的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述檢測(cè)單元均與所述供 氣管路相連。

優(yōu)選地，多個(gè)所述檢測(cè)單元并排依次排布。

優(yōu)選地，還包括固定架，多個(gè)所述檢測(cè)單元均固定在所述固定框架上。

優(yōu)選地，所述供氣嘴固定座一體設(shè)置。

優(yōu)選地，所述供氣嘴固定座與所述固定架鉸接，且能夠在豎直與水平 方向之間進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

優(yōu)選地，還包括固定板，所述檢測(cè)管的管口固定于所述固定板上。

優(yōu)選地，所述固定板與所述固定架鉸接，且能夠在豎直與水平方向之 間進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述檢測(cè)單元還包括調(diào)節(jié)閥，所述調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述供氣流 量計(jì)與所述供氣管路之間。

優(yōu)選地，所述供氣嘴固定座上設(shè)置有與供氣嘴的底部螺紋連接的螺紋 通孔。

本申請(qǐng)?zhí)峁┑募夹g(shù)方案可以達(dá)到以下有益效果：

本申請(qǐng)所提供的供氣嘴檢測(cè)裝置通過(guò)將供氣嘴的底部固定在供氣嘴 固定座上，之后分別通過(guò)供氣流量計(jì)以及檢測(cè)流量計(jì)檢測(cè)供氣嘴前后的檢 測(cè)用氣的流量數(shù)值，便可準(zhǔn)確的反映出供氣嘴的通氣狀態(tài)以及通氣程度， 相較于通過(guò)人工采用氣槍的檢測(cè)方式，檢測(cè)精度更高。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性的，并 不能限制本申請(qǐng)。

附圖說(shuō)明

圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例所提供的供氣嘴檢測(cè)裝置檢測(cè)供氣嘴時(shí)的整體結(jié) 構(gòu)示意圖；

圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例所提供的供氣嘴固定座與固定板均旋轉(zhuǎn)至水平狀 態(tài)時(shí)與供氣嘴的配合結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例所提供的供氣嘴固定座與固定板均旋轉(zhuǎn)至豎直狀 態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：

1-供氣嘴檢測(cè)裝置；

10-供氣管路；

12-檢測(cè)單元；

120-供氣流量計(jì)；

122-供氣嘴固定座；

124-檢測(cè)管；

126-檢測(cè)流量計(jì)；

128-調(diào)節(jié)閥；

14-固定架；

16-固定板；

2-供氣嘴。

此處的附圖被并入說(shuō)明書(shū)中并構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分，示出了符合本 申請(qǐng)的實(shí)施例，并與說(shuō)明書(shū)一起用于解釋本申請(qǐng)的原理。

具體實(shí)施方式

下面通過(guò)具體的實(shí)施例并結(jié)合附圖對(duì)本申請(qǐng)做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。文 中所述“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”均以附圖中的供氣嘴檢測(cè)裝 置的放置狀態(tài)為參照。