[實用新型]光學鍍膜機快速無塵進氣系統有效
| 申請號： | 201620064717.7 | 申請日： | 2016-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN205347561U | 公開（公告）日： | 2016-06-29 |
| 發明（設計）人： | 李雪高 | 申請（專利權）人： | 東莞市長益光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/22 | 分類號： | C23C14/22;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 連平 |
| 地址： | 523000 廣東省東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 鍍膜 快速 無塵進氣 系統 | ||
【權利要求書】：
1.光學鍍膜機快速無塵進氣系統，其特征在于，包括過濾裝置、電磁閥(2)和壓力調節閥(3)，所述過濾裝置包括至少一個過濾器(1)，所述過濾裝置的出氣端與壓力調節閥(3)的進氣端連通，所述壓力調節閥(3)的出氣端與電磁閥(2)的進氣端連通。
2.根據權利要求1所述光學鍍膜機快速無塵進氣系統，其特征在于，所述過濾器(1)為0.01μm壓縮空氣過濾器。
3.根據權利要求1所述光學鍍膜機快速無塵進氣系統，其特征在于，所述電磁閥(2)為氣體單向電磁閥。
4.根據權利要求1所述光學鍍膜機快速無塵進氣系統，其特征在于，所述壓力調節閥(3)為緊湊型減壓閥。
5.根據權利要求1所述光學鍍膜機快速無塵進氣系統，其特征在于，所述過濾裝置、電磁閥(2)和壓力調節閥(3)通過無塵氣管(4)連接。
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