[實用新型]拋光液加熱裝置有效
| 申請號: | 201620059675.8 | 申請日: | 2016-01-21 |
| 公開(公告)號: | CN205342774U | 公開(公告)日: | 2016-06-29 |
| 發明(設計)人: | 夏秋良 | 申請(專利權)人: | 蘇州新美光納米科技有限公司 |
| 主分類號: | B24B37/015 | 分類號: | B24B37/015;B24B57/02;F24H1/10;F24H9/18;F24H9/20 |
| 代理公司: | 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;張濤 |
| 地址: | 215123 江蘇省蘇州市蘇州工*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 拋光 加熱 裝置 | ||
1.一種拋光液加熱裝置,包括拋光液輸送管(4);其特征是:在所述拋光液輸送管(4)的末端設置用于對拋光液輸送管(4)內的拋光液進行加熱的拋光液加熱器,在拋光液輸送管(4)的管道出口處設置用于檢測拋光液溫度的拋光液溫度檢測器(6),所述拋光液溫度檢測器(6)以及拋光液加熱器均與加熱控制器連接,所述加熱控制器還與用于檢測拋光環境溫度的拋光環境溫度檢測器。
2.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液加熱器包括兩個用于對拋光液進行加熱的加熱板(5),所述加熱板(5)間具有拋光液流動的加熱空隙,所述加熱板(5)為半導體加熱器、電阻絲加熱器或水浴加熱器。
3.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液加熱器包括呈對稱分布的夾板(7),在所述夾板(7)間設置若干用于對拋光液進行加熱的加熱柱(8)。
4.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液加熱器包括纏繞在拋光液輸送管(4)上的加熱線圈(9)或允許拋光液輸送管(4)纏繞的加熱棒(10)。
5.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液加熱器包括套在拋光液輸送管(4)外的加熱介質管,所述加熱介質管與拋光液輸送管(4)間具有與拋光液進行溫度交換的高溫加熱介質。
6.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液輸送管(4)上還設有調整輸送管(11),所述調整輸送管(11)與拋光液輸送管(4)相連通,拋光液加熱器能對拋光液輸送管(4)內的拋光液以及調整輸送管(11)內的調整液體進行加熱。
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