[實(shí)用新型]可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620057574.7
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN205341045U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱永兵
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇鑫復(fù)特環(huán)保科技有限公司
• 主分類號: B03C3/16
• 分類號: B03C3/16;B03C3/34;B03C3/78
• 代理公司: 無錫大揚(yáng)專利事務(wù)所(普通合伙) 32248
• 代理人: 郭晟杰

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種濕式電除塵器，具體說是可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器，主要用于電腦顯示器、手機(jī)面板生產(chǎn)過程中氧化硅、酸堿廢液霧滴的捕集處理以及其他化工領(lǐng)域有害氣體排放處理。

背景技術(shù)

隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和應(yīng)用領(lǐng)域的逐步的擴(kuò)展，平板顯示產(chǎn)業(yè)得到迅猛發(fā)展，已成為一個市場規(guī)模大、技術(shù)更新快，產(chǎn)業(yè)輻射面廣，推動益效顯著的產(chǎn)業(yè)。同時，觸摸屏產(chǎn)品在近幾年發(fā)展迅速，而金屬氧化物半導(dǎo)體顯示技術(shù)（OxideTFT）作為下一代新型半導(dǎo)體顯示技術(shù)具有獨(dú)特的優(yōu)勢，是未來制備大尺寸背板的主要發(fā)展方向。目前，國內(nèi)主要大型光電企業(yè)基本建成為第8.5代新型半導(dǎo)體顯示器生產(chǎn)線。

在半導(dǎo)體顯示器生產(chǎn)線中，玻璃基板是主要的生產(chǎn)部件，玻璃基板生產(chǎn)中要使用酸、堿、硅烷等輔助原料，由此會產(chǎn)生一定的有毒廢氣。酸堿廢氣一般都是采用填料型洗滌塔對其進(jìn)行循環(huán)噴淋中和處理，但硅烷在燃燒過程中產(chǎn)生的粉塵，主要是氧化硅（SiO₂）容易在洗滌塔中結(jié)晶，堵塞洗滌塔中的填料，造成填料表面更新緩慢，從而影響廢氣處理效率，導(dǎo)致污染環(huán)境。所以，在廢氣進(jìn)入洗滌塔前必須先進(jìn)行除塵處理。而半導(dǎo)體顯示器生產(chǎn)中產(chǎn)生的有毒氣體一般排出的溫度在25℃－30℃，無法采用干式電收塵器，而只能利用SiO₂易溶于水這一特性采用濕式電除塵器。濕式電除塵器可先將廢氣進(jìn)行洗滌，然后再利用陽極管與陰極線之間的電場作用，使得SiO₂向陽極管內(nèi)壁移動，并在陽極管內(nèi)壁表面結(jié)晶，從而減少濕式電除塵器排出氣體中氧化硅的含量。這種濕式電除塵器在使用一段時間后，由于氧化硅結(jié)晶的不斷積累，其陽極管內(nèi)壁會產(chǎn)生結(jié)垢。現(xiàn)有技術(shù)中去除這種結(jié)垢的方式是，在濕式電除塵器的殼體內(nèi)腔頂部（即陽極管上方的出氣室內(nèi)）設(shè)置噴淋管，定期向下方的陽極管噴水，利用氧化硅易溶于水的特性對陽極管結(jié)垢進(jìn)行清理。但是，由于濕式電除塵器在運(yùn)行時，陽極管與陰極線間存在電場，如果有大量的水經(jīng)過，很容易造成短路，損壞設(shè)備。因此，這種方式只能在濕式電除塵器停運(yùn)時進(jìn)行。同時，由于長期積累的結(jié)垢厚度和面積往往都較大，采用這種方式很難將其完全清除，而陽極管壁殘留的結(jié)垢又會影響陽極管與陰極管間的電場效應(yīng)，造成設(shè)備除塵效率的降低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的問題是提供一種可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器，采用該濕式電除塵器，可實(shí)時清除陽極管內(nèi)壁的結(jié)晶，不會造成結(jié)垢出現(xiàn)，確保設(shè)備的除塵效率不受影響。

為解決上述問題，采取以下技術(shù)方案：

本實(shí)用新型的可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器包括殼體，殼體內(nèi)自下而上依次設(shè)置有進(jìn)氣室、氣體分布室、陽極室和出氣室。所述進(jìn)氣室的側(cè)壁有進(jìn)氣口。所述氣體分布室內(nèi)有呈水平布置的氣體分布板，氣體分布板上有多個通氣孔。所述陽極室內(nèi)均布有呈豎向布置的陽極管，陽極室的頂部有上框架，上框架上均勻的懸掛有陰極線，陰極線與陽極管一一對應(yīng)，且陰極線均位于陽極管的中心位置，陰極線的下端從陽極管下端伸出且其上均連接有重錘。所述出氣室頂部有出氣口，出氣室內(nèi)有第一噴淋管，第一噴淋管下側(cè)均布有噴頭。所述殼體上表面沿周向均布有絕緣箱。其特點(diǎn)是所述進(jìn)氣室底部有集液箱，該集液箱連接有第一循環(huán)泵和第二循環(huán)泵。所述進(jìn)氣室頂部有第二噴淋管，第二噴淋管下側(cè)均布有噴頭，第二噴淋管通過管道與第一循環(huán)泵相連。所述陽極室內(nèi)有呈水平布置的上承水板和下承水板，它們的四周均與陽極室內(nèi)壁呈密封連接，上承水板和下承水板上均有與陽極管對應(yīng)的通孔。所述上承水板位于陽極管上端的下方，且上承水板的通孔與陽極管的外壁呈密封配合。所述下承水板位于陽極管下端的上方，且下承水板的通孔與陽極管的外壁呈密封配合。所述上承水板的上表面有溢流管，溢流管通過管道與第二循環(huán)泵相連。所述陽極管下端的內(nèi)側(cè)有環(huán)形的集水槽，集水槽的槽沿下方對應(yīng)的陽極管管壁上有出水口，該出水口位于所述下承水板的上方。所述殼體上有出水管，該出水管位于下承水板的上方，且低于陽極管的出水口，出水管通過管道與所述集液箱的內(nèi)腔相連通。