[實用新型]基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標定裝置

有效

• 申請號: 201620055146.0
• 申請日: 2016-01-20
• 公開（公告）號: CN205333035U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 裘祖榮;秦國花;蘇智琨;王成林;李杏華
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G01B21/02
• 分類號: G01B21/02
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 張金亭

1.一種基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標定裝置，其特征在于，包括調平支 架、精密直線平移臺、雙頻激光干涉系統、量塊和微位移傳感器固定塊；

所述精密直線平移臺由所述調平支架支撐；

所述微位移傳感器固定塊固接在所述調平支架上，在所述微位移傳感器固定塊上設 有微位移傳感器固定結構；

所述雙頻激光干涉系統包括反射鏡、干涉鏡和激光頭，所述反射鏡和所述量塊均固 定在所述精密直線平移臺的可動部件上，所述雙頻激光干涉系統的出射光線與反射光線 平行于微位移傳感器的運動軸線，并且對稱分布于該運動軸線兩側。

2.根據權利要求1所述的基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標定裝置，其特征 在于，所述調平支架由調平支架A和調平支架B組成；

在所述調平支架A上設有兩個調平螺釘Ⅰ，兩個所述調平螺釘Ⅰ分設在所述調平支 架A的兩端；

在所述調平支架B上設有一個調平螺釘Ⅱ，所述調平螺釘Ⅱ設置在所述調平支架B 的中央；所述微位移傳感器固定塊固定在所述調平支架B上；

在所述調平螺釘Ⅰ和所述調平螺釘Ⅱ的底部均嵌裝有鋼珠。

3.根據權利要求1所述的基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標定裝置，其特征 在于，所述微位移傳感器固定結構包括形成在所述微位移傳感器固定塊頂部的鉗口，所 述鉗口采用螺栓鎖緊，在所述鉗口內固定有套裝在微位移傳感器外面的護套，在所述護 套的側壁上設有沿其母線延伸的開口。

4.根據權利要求1所述的基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標定裝置，其特征 在于，所述量塊通過量塊固定塊與所述精密直線平移臺的可動部件固接，所述量塊固定 塊固定在所述精密直線平移臺的可動部件上，在所述量塊固定塊的上表面上形成有安裝 槽，在所述安裝槽內安裝有所述量塊，所述量塊采用設置在其一側的緊定螺釘鎖固在所 述安裝槽內，在所述量塊靠近所述緊定螺釘的側面上設有墊板，所述緊定螺釘壓緊在所 述墊板上。