[實用新型]一種真空蒸發鍍膜設備

有效

• 申請號: 201620051276.7
• 申請日: 2016-01-18
• 公開（公告）號: CN205295446U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 安暉;董必良;段獻學
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種真空蒸發鍍膜設備，包括蒸發源和用于安裝待鍍膜基板的載體， 其特征在于，所述真空蒸發鍍膜設備還包括：

相互連接的多個擋板，設置于所述蒸發源和所述載體之間；多個所述擋板 相組合構成至少兩組修正擋板；

用于驅動其中一組所述修正擋板位于所述蒸發源的材料蒸發行程內的驅 動機構，所述驅動機構與每組所述修正擋板相連接。

2.如權利要求1所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，所述驅動機構 包括：

驅動馬達；

與所述驅動馬達的輸出軸相連接的支撐桿，其中每個所述擋板分別與所述 支撐桿固定連接。

3.如權利要求1所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，多個所述擋板 在中部位置相互固定連接，一個所述擋板構成一組所述修正擋板。

4.如權利要求3所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，相鄰組所述修 正擋板之間交叉設置。

5.如權利要求4所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，所述修正擋板 為兩組，且第一組修正擋板與第二組修正擋板相互垂直。

6.如權利要求1所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，多個所述擋板 分別朝不同方向延伸，且其中一端分別連接在一起，相鄰所述擋板之間的角度 為小于等于180度，其中的一個所述擋板與另一個所述擋板相組合構成為一組 所述修正擋板。

7.如權利要求6所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，所述擋板的數 量為六個，且相鄰所述擋板之間的角度均為60度。

8.如權利要求7所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，所述擋板中的 第一擋板為豎直向下延伸時，位于所述第一擋板兩側的第二擋板和第三擋板構 成為一組所述修正擋板。

9.如權利要求1至8任一項所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，所 述修正擋板中的第一組修正擋板位于所述蒸發源的材料蒸發行程內時，其他組 修正擋板垂直于所述蒸發源的蒸發液面或者相對于所述第一組修正擋板位于 面對所述蒸發源一側的另一側。

10.如權利要求1所述的真空蒸發鍍膜設備，其特征在于，所述蒸發源為 至少兩個，其中所述驅動機構驅動不同組所述修正擋板與不同的所述蒸發源相 對應。