[實用新型]一種雙子藍寶石襯底

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620048857.5
• 申請日: 2016-01-19
• 公開（公告）號: CN205376563U
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設計）人: 陳銘欣;林木榕;林永騰
• 申請（專利權）人: 福建晶安光電有限公司
• 主分類號: H01L33/22
• 分類號: H01L33/22;H01L33/64
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種雙子藍寶石襯底，包括聚合物層（1），其特征在于：所述聚合物層（1）的上表面和下表面分別沉積有上藍寶石襯底（2）和下藍寶石襯底（8），所述上藍寶石襯底（2）的頂部等距離規(guī)則排列有錐形凸塊（3），且上藍寶石襯底（2）的平坦頂部生長有GaN結晶生長層（4），所述錐形凸塊（3）的錐形頂部和GaN結晶生長層（4）之間形成錐形槽體（5），所述GaN結晶生長層（4）的頂部經化學機械拋光設置有粗糙層（7），所述GaN結晶生長層（4）的頂部開有矩陣刻槽（6），且矩陣刻槽（6）包括橫向刻槽（61）和豎向刻槽（62），所述下藍寶石襯底（8）的上表面和下表面均通過感應耦合等離子體刻蝕工藝形成有微透鏡（9），且聚合物層（1）的內腔設置有與微透鏡（9）相配合的透鏡槽。

2.根據權利要求1所述的一種雙子藍寶石襯底，其特征在于：所述錐形槽體（5）最少為相同的兩組。

3.根據權利要求1所述的一種雙子藍寶石襯底，其特征在于：所述粗糙層（7）的粗糙度小于等于0.15nm。

4.根據權利要求1所述的一種雙子藍寶石襯底，其特征在于：所述粗糙層（7）設置在橫向刻槽（61）和豎向刻槽（62）所形成的腔體中。

5.根據權利要求1所述的一種雙子藍寶石襯底，其特征在于：所述微透鏡（9）為半球型，且微透鏡（9）的半圓面均設置在下藍寶石襯底（8）的上表面和下表面。