[實用新型]一種磁場強度可調節式磁控濺射裝置有效
| 申請號： | 201620048738.X | 申請日： | 2016-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN205473964U | 公開（公告）日： | 2016-08-17 |
| 發明（設計）人： | 胡凡;范永生;呂海飛 | 申請（專利權）人： | 河南康耀電子股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 472400 河*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁場強度 調節 磁控濺射 裝置 | ||
【權利要求書】：
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