[實用新型]一種金屬有機化學氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201620032494.6
• 申請日: 2016-01-14
• 公開（公告）號: CN205313663U
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 王景梅;貴莉莉;王景賓;宋徽;趙建毅
• 申請（專利權）人: 新鄉職業技術學院
• 主分類號: C23C16/18
• 分類號: C23C16/18;C23C16/44
• 代理公司: 新鄉市平原專利有限責任公司 41107
• 代理人: 路寬

1.一種金屬有機化學氣相沉積設備，包括箱體（1），所述箱體（1）上設有反應腔（7），其特征在于，所述箱體（1）的上端設有與反應腔（7）連通的安裝口，所述箱體（1）的上端一側設有進水管（11），所述安裝口的上端設有預熱裝置（10），所述預熱裝置（10）的一側設有進氣管（9），所述安裝口內壁遠離預熱裝置（10）的一側螺紋連接有出氣裝置（8），所述反應腔（7）的底部設有凹槽，所述凹槽的底部通過連接軸連接有反應板（2），所述凹槽的下方通過導熱板（3）分隔形成加熱腔，所述加熱腔的內壁上覆蓋有絕熱板（4），所述箱體（1）上設有與凹槽連通的出氣管（6），所述箱體（1）上設有與反應腔（7）連通的出水管（5）。

2.根據權利要求1所述的一種金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，所述進水管（11）和箱體（1）為一體成型。

3.根據權利要求1所述的一種金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，所述箱體（1）的底面設有防滑紋。

4.根據權利要求1所述的一種金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，所述進氣管（9）、出氣管（6）和出水管（5）上均設有閥門。