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[實用新型]一種碳化硅品質檢驗裝置有效

專利信息
申請號: 201620030649.2 申請日: 2016-01-13
公開(公告)號: CN205749307U 公開(公告)日: 2016-11-30
發明(設計)人: 宗艷民 申請(專利權)人: 山東天岳先進材料科技有限公司
主分類號: G01N21/84 分類號: G01N21/84;G01N9/24;G01N29/04
代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 代理人: 苗峻
地址: 250101 山東省濟南市高新區新*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 碳化硅 品質 檢驗 裝置
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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