[實用新型]一種基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造裝置

有效

• 申請號: 201620025560.7
• 申請日: 2016-01-12
• 公開（公告）號: CN205303514U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 薛岱;汪延成;梅德慶;謝擴;陳子辰
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: H01L41/33
• 分類號: H01L41/33
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林超

1.一種基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造裝置，其特征在于： 包括鈮酸鋰晶片(2)、銅質叉指電極(1)、PDMS微流道(3)和紫外光源(8)，鈮酸 鋰晶片(2)的上表面形成有兩對正交排布的銅質叉指電極(1)，銅質叉指電極(1) 與鈮酸鋰晶片(2)構成叉指換能器，各個銅質叉指電極(1)與信號發生器(5)的輸 出通道相連，PDMS微流道(3)覆蓋在鈮酸鋰晶片(2)的正中央，四個銅質叉指電 極(1)分別位于PDMS微流道(3)的周圍四邊并呈對稱分布，紫外光源(8)置于鈮 酸鋰晶片(2)下方。

2.根據權利要求1所述的一種基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造 裝置，其特征在于：所述的銅質叉指電極(1)通過光刻與濺射方法在鈮酸鋰晶片 (2)上制備。

3.根據權利要求1所述的一種基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造 裝置，其特征在于：所述的PDMS微流道(3)為內部中空且無底板的方殼體，殼 體頂部鉆有注射孔和排氣孔。

4.根據權利要求1所述的一種基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造 裝置，其特征在于：所述的叉指換能器是具有多種共振頻率的銅質叉指換能 器，每個銅質叉指電極(1)的指寬和間距由外向內逐漸遞減。

5.根據權利要求1所述的一種基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造 裝置，其特征在于：所述的壓電晶片采用128°Y切型、延X向傳播的雙面拋光 鈮酸鋰。