[實用新型]一種半導體薄膜型氣敏元件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620020933.1 | 申請日： | 2016-01-12 |
| 公開（公告）號： | CN205333560U | 公開（公告）日： | 2016-06-22 |
| 發(fā)明（設計）人： | 不公告發(fā)明人 | 申請（專利權）人： | 重慶三零三科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/04 | 分類號： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 402560 重慶市銅梁*** | 國省代碼： | 重慶;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 薄膜 型氣敏 元件 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體薄膜型氣敏元件，其特征在于，包括保護套及基片，所述基片設置于保護套中，所述基片中心設置有氧化物半導體，所述氧化物半導體上設置有金屬條，所述金屬條之間設置有第一電極、第二電極、第三電極、第四電極，所述氧化物半導體兩側設置有加熱絲。
2.根據權利要求1所述一種半導體薄膜型氣敏元件，其特征在于，所述基片為氧化鋁基片。
3.根據權利要求1所述一種半導體薄膜型氣敏元件，其特征在于，所述第三電極、第四電極為梳狀銅電極。
4.根據權利要求1所述一種半導體薄膜型氣敏元件，其特征在于，所述氧化物半導體為TiO2納米薄膜。
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