[實用新型]拋光盤組件以及具有其的拋光機有效
| 申請號： | 201620015694.0 | 申請日： | 2016-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN205520892U | 公開（公告）日： | 2016-08-31 |
| 發明（設計）人： | 沈攀;李昆;路新春 | 申請（專利權）人： | 天津華海清科機電科技有限公司;清華大學 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B49/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黃德海 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 組件 以及 具有 拋光機 | ||
【說明書】：
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