[發明專利]離子源放電模塊及其工作方法有效
| 申請號： | 201611268725.4 | 申請日： | 2016-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN106887375B | 公開（公告）日： | 2019-03-05 |
| 發明（設計）人： | 洪歡歡;聞路紅;寧錄勝;趙鵬;陳瑞強 | 申請（專利權）人： | 寧波華儀寧創智能科技有限公司;寧波大學 |
| 主分類號： | H01J49/10 | 分類號： | H01J49/10;H01J49/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 315000 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子源 放電 模塊 及其 工作 方法 | ||
1.一種離子源放電模塊；其特征在于：所述離子源放電模塊包括：
陶瓷管，所述陶瓷管包括外徑較大部分和外徑較小部分；
金屬件，所述金屬件設置在所述外徑較小部分的外圍，并與所述陶瓷管的外徑較大部分連接在一起；
玻璃管，所述玻璃管設置在所述外徑較小部分的外圍，左側與所述金屬件連接，右側連接石英管；所述金屬件和玻璃管與所述外徑較小部分的外緣間的距離均大于零；
石英管，所述石英管包括內徑較大部分和內徑較小部分，所述內徑較大部分的端部與所述玻璃管的右側連接；所述石英管與所述外徑較小部分間的距離大于零。
2.根據權利要求1所述的離子源放電模塊，其特征在于：從陶瓷管、金屬件、玻璃管到石英管，熱膨脹系數逐步過渡。
3.根據權利要求2所述的離子源放電模塊，其特征在于：所述陶瓷管為氧化鋁陶瓷。
4.根據權利要求2所述的離子源放電模塊，其特征在于：所述金屬件為銀、鉬、鈮、鉭或可伐合金。
5.根據權利要求1所述的離子源放電模塊，其特征在于：所述外徑較小部分的內徑與內徑較小部分的內徑相同。
6.根據權利要求1所述的離子源放電模塊，其特征在于：所述內徑較小部分的外徑小于所述內徑較大部分的內徑。
7.根據權利要求1所述的離子源放電模塊，其特征在于：所述內徑較大部分的部分套在所述外徑較小部分的外圍。
8.根據權利要求1所述的離子源放電模塊，其特征在于：所述玻璃管為普通玻璃。
9.根據權利要求1-8任一所述的離子源放電模塊的工作方法，所述工作方法為：
大部分放電氣體依次流過所述陶瓷管、石英管的內部，小部分放電氣體進入陶瓷管、金屬件、玻璃管、石英管圍成的相對封閉的空間內，陶瓷管、金屬件、玻璃管、石英管的相互連接處的溫度小于所述石英管內放電氣體的溫度。
10.根據權利要求9所述的工作方法，其特征在于：所述放電氣體的溫度超過680度。
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