[發明專利]一種數字微鏡器件的傾斜掃描時的工作方法在審
| 申請號： | 201611267980.7 | 申請日： | 2016-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN106773543A | 公開（公告）日： | 2017-05-31 |
| 發明（設計）人： | 俞慶平;高明;陳修濤;董輝 | 申請（專利權）人： | 俞慶平 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 安徽省合肥市蜀山區*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 數字 器件 傾斜 掃描 工作 方法 | ||
1.一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于：所述的數字微鏡器件在對感光材料件進行掃描曝光時，其掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向成一定夾角；這個夾角會使數字微鏡器件的微鏡單元在感光材料件上的掃描軌跡更加密集。
2.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：7.1150°～ 7.1350°。
3.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：6.3302°～ 6.3502°。
4.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：5.7006°～ 5.7206°。
5.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：5.1844°～ 5.2044°。
6.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：4.7536°～ 4.7736°。
7.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：4.3887°～ 4.4087°。
8.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：4.0756°～ 4.0956°。
9.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：3.8041°～ 3.8241°。
10.根據權利要求1所述的一種數字微鏡器件傾斜掃描時的工作方法，其特征在于，所述的數字微鏡器件的掃描方向與數字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向所成的夾角范圍為：3.5663°～ 3.5863°。
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