[發明專利]等離子體清洗光伏硅片有機污物設備

在審

• 申請號: 201611267477.1
• 申請日: 2016-12-31
• 公開（公告）號: CN106783711A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 滕海燕
• 申請（專利權）人: 合肥優億科機電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18;B08B13/00
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙)34115
• 代理人: 婁岳,金凱

1.一種等離子體清洗光伏硅片有機污物設備，其特征在于：包括倒U型的支撐框架，支撐框架的頂邊上設置有水平方向位移的移動工作臺，所述的移動工作臺上設有等離子體滅菌器，支撐框架的下方設有傳送需要清洗的光伏硅片的流水線傳送帶，該等離子體滅菌器與流水線傳送帶的垂直距離可調；

所述的等離子體滅菌器包括等離子體發生電源、等離子體噴射機頭和安裝件，

該安裝件為C字型，等離子體噴射機頭與安裝件的一端相連，安裝件與移動工作臺的中部連接，等離子體噴射機頭通過高壓絕緣線纜與等離子體發生電源的一極連接，等離子體發生電源的另一極連接安裝臺。

2.一種如權利要求1所述的等離子體清洗光伏硅片有機污物設備，其特征在于：所述的支撐框架、移動工作臺、流水線傳送帶、等離子體滅菌器的等離子體發生電源和安裝件均接地。

3.一種如權利要求1所述的等離子體清洗光伏硅片有機污物設備，其特征在于：所述的等離子體發生電源為交流電源，電源電壓為3~30kV，交流頻率包含低頻、中頻、高頻、射頻、微波。

4.一種如權利要求3所述的等離子體清洗光伏硅片有機污物設備，其特征在于：所述的等離子體發生電源的交流頻率為中頻、高頻或射頻。

5.一種如權利要求1所述的等離子體清洗光伏硅片有機污物設備，其特征在于：所述等離子體滅菌器的等離子體噴射機頭由依次連接的噴嘴、機頭外殼和后筒所形成的圓柱形殼體、圓柱形殼體內部的等離子發生裝置及兩者之間的絕緣層構成，所述后筒與等離子體滅菌器的安裝件連接；

該機頭外殼內測為臺階結構，其臺階面與后筒的端面壓緊固定絕緣層；

該絕緣層由臺階結構的第一絕緣筒和圓筒形的第二絕緣筒構成，第一絕緣筒的臺階面與第二絕緣筒壓緊固定有進氣柵；

等離子發生裝置包括：與噴嘴內側接近的內電極，該內電極固定在進氣柵上，內電極的后端設有圓柱狀的內孔一，該內孔一中安裝有銅電極，該銅電極的后端設有圓柱狀的內孔二，內孔二的內部用固定有連接銅電極和等離子體發生電源的高壓絕緣線纜。