[發明專利]晶圓測試系統

在審

• 申請號: 201611264465.3
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN106597261A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 羅斌;張志勇;祁建華;王錦;凌儉波
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 智云

技術領域

本發明涉及集成電路技術領域，具體涉及一種晶圓測試系統。

背景技術

晶圓測試的主要目的是對晶圓中的芯片進行電氣功能測試，把不良芯片篩選出來，同時按照電性不良類型把不合格的產品分類,提供給晶圓制造廠進行數據分析以及工藝改進。

目前，集成電路晶圓產業化測試中，其中，一種方式是通過顏色來代表對應芯片不同的失效類型，如綠色為全部通過，紅色為接觸失效，黃色為功能失效等，最后反映在繪制的晶圓的二維圖像上；另一種方式，直接采用綠色為對應芯片測試通過，紅色為對應芯片測試未通過，最后反映在繪制的晶圓的二維圖像上。

以上方法都存在共同的問題，即，只能看出晶圓的二維圖像對應的芯片是否測試通過，最多能了解其失效類型，但是具體是哪一項測試未通過、其測試值是多少、與設計標準相差多少等具體的信息均無法直觀地獲得。若要獲得這些具體信息，需從海量的測試記錄中進行查找，十分不便。

發明內容

為解決傳統晶圓測試系統無法方便地獲取晶圓測試的具體測試信息的問題，本發明提供了一種晶圓測試系統。

本發明提供了一種晶圓測試系統，包括測試單元、控制單元、數據存儲單元和顯示與交互單元；所述測試單元用于對晶圓進行測試，并將測試數據存儲于所述數據存儲單元；所述控制單元根據顯示與交互單元接收的指令，從數據存儲單元中提取指定的測試晶圓的測試數據，并控制顯示與交互單元按照指定顯示模式通過一二維圖像顯示該指定的測試晶圓的具體測試數據。

可選的，所述具體測試數據是指定測試項目的具體測試值。。

可選的，所述顯示與交互單元的顯示模式為：在與指定的測試晶圓對應的二維圖像上，每個芯片圖像上顯示該指定的測試晶圓的指定測試項目的具體測試值。

可選的，所述顯示與交互單元的顯示模式為：在與指定的測試晶圓對應的二維圖像上，每個芯片圖像上顯示指定顏色以代表該指定的測試晶圓的對應芯片測試通過或者測試未通過，點觸指定的芯片圖像時，所述顯示與交互單元會顯示出指定的芯片圖像對應的芯片的所有測試項目的信息。

可選的，所述顯示與交互單元的顯示模式如下：所述控制單元將多個同類測試晶圓的二維圖像進行疊加處理，所有同類測試晶圓的同一坐標芯片均測試未通過，則此坐標芯片顯示指定顏色。

可選的，還包括一數據處理單元，所述數據處理單元用于對測試數據進行格式整理，并將整理后的測試數據存儲于數據存儲單元。

可選的，所述數據處理單元整理后的測試數據，包含如下信息：測試項目類型、測試晶圓的批號、晶圓編號、測試開始時間、測試結束時間、測試項目最高和最低限值、具體芯片的坐標以及指定測試項目的具體測試值。

可選的，所述測試單元為晶圓允收測試機臺。

可選的，所述測試單元為芯片探針測試機臺。

可選的，所述顯示與交互單元包括顯示器、鼠標和鍵盤。

可選的，所述顯示與交互單元包括一觸摸屏。

可選的，所述數據存儲單元為服務器。

可選的，所述數據存儲單元包括工作存儲單元和備份存儲單元，所述工作存儲單元用于正常的數據存儲交換，所述備份存儲單元實時備份工作存儲單元的數據。

采用本發明提供的晶圓測試系統，控制單元根據顯示與交互單元接收的指令，從數據存儲單元中提取指定的測試晶圓的測試數據，并控制顯示與交互單元按照指定顯示模式通過一二維圖像顯示該指定的測試晶圓的具體測試數據，晶圓的測試數據能直觀的顯示于顯示與交互單元，免去了從海量測試數據中查找的繁瑣步驟，提高了數據分析效率。

附圖說明

圖1是本發明實施例一提供的晶圓測試系統的意圖；

圖2是本發明實施例一提供的晶圓測試系統的顯示晶圓圖像意圖；

圖3是本發明實施例二提供的晶圓測試系統的顯示晶圓圖像示意圖；

附圖1～附圖3的標記說明如下：

101-測試單元；102-控制單元；103-數據存儲單元；104-數據處理單元；105-顯示與交互單元；201、301-測試晶圓對應的二維圖像；202、302-芯片圖像。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本發明提出的機臺異常處置的方法進行詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。

<實施例一>