[發明專利]一種傾斜式掃描中數據移位的方法

有效

• 申請號: 201611262960.0
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN106527058B
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 陳修濤;韓非;王運鋼;董輝;吳景舟
• 申請（專利權）人: 江蘇九迪激光裝備科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種傾斜式掃描中數據移位的方法，所述數據移位通過現場可編程門陣列進行，包括如下步驟：讀取圖形數據，獲取待曝光圖形數據的總行數，計算待曝光圖形數據每一行需要補零的個數，數據移位。本發明的方法通過將移位次數轉化為二進制數，然后逐位移位的方法實現數據移位。與現有的數據移位方法相比，本發明的移位方式簡單并且易于實現。對于補零個數在0?255個之間的數據移位操作，現有技術則需要255個case語句，本發明的數據移位方法僅需要8個case語句即可實現，極大地降低了FPGA實現的難度。

技術領域

本發明涉及直寫式光刻技術領域，具體涉及一種傾斜式掃描中數據移位的方法。

背景技術

直寫式光刻機設備是半導體器件生產過程中的關鍵設施，直寫式光刻機設備是利用空間光調制器(SLM)作為圖形發生器取代傳統光刻機的掩模板，從而可以直接將計算機的圖形數據曝光到晶圓上，節省掩模板的費用。

由于現代工業的發展對光刻機提出了更高的要求，不僅要求光刻的線寬更小，而且要求速度更快。傳統的垂直掃描無法很好地滿足工業生產的要求，而傾斜式掃描方式在增大光學倍率，提高掃描寬度的同時，還可以提高光學分辨率。傾斜式直寫曝光機中，需要對圖像數據進行必要的移位操作，以修正在傾斜式掃描中，輸出圖像方向與DMD移動方向不一致的問題。這種移位操作需要對每幀圖像進行實時處理，計算量大，實時性要求極高，簡化移位操作的方法，就可以大大提高移位操作的效率。

圖像偏移是通過對bitmap格式的圖像數據每一行進行相應的數據移位來實現的。數據移位即在行起始列之前補充相應個數的零。數據移位通常都是由現場可編程門陣列(FPGA)完成，但對于運算量大的數據，如需補零255個的時候，使用case語句將產生255個分支，FPGA處理復雜度將非常大。

發明內容

本發明的目的就是針對現有數據移位算法的不足，提供一種傾斜式掃描中數據移位的方法，能夠有效降低FPGA處理的復雜度，極大地提高移位操作的效率。

本發明的技術方案如下：

一種傾斜式掃描中數據移位的方法，所述數據移位通過現場可編程門陣列進行，包括如下步驟：

讀取圖形數據步驟，從存儲模塊中讀取待曝光的圖形數據；

獲取待曝光圖形數據的總行數步驟，計算所述待曝光的圖形數據的總行數，并對待曝光的圖形數據的各行按掃描順序從1開始進行編號；

計算待曝光圖形數據每一行需要補零的個數步驟，對待曝光的圖形數據中的第m行，用m除以傾斜因子N，對結果m/N向下取整，取整結果記為，即為第m行需要補零的個數；

數據移位步驟，將轉化為二進制數，將所述二進制數從低位到高位從0開始依次編號，對所述二進制數從低位開始判斷，如果當前位次數字為1，則將所在行的數據在起始列前補個零，其中a是當前位的編號，如果當前位次數字為0則不補零，依次判斷所有位次的數字并進行補零，完成數據移位。

優選地，所述存儲模塊是雙倍速率同步動態隨機存儲器。

優選地，所述傾斜因子N為大于等于4且小于等于16的任意正整數。

優選地，所述二進制數為8比特二進制數。

優選地，所述為大于等于0且小于等于255的正整數。在0-255之間時，可以滿足轉化成二進制數后不超過8位。

本發明具有如下有益效果：

本發明涉及一種傾斜掃描中數據移位的方法，通過將移位次數轉化為二進制數，然后逐位移位的方法實現數據移位。與現有的數據移位方法相比，本發明的移位方式簡單并且易于實現。對于補零個數在0-255個之間的數據移位操作，傳統技術則需要255個case語句，本發明的數據移位方法僅需要8個case語句即可實現，極大地降低了FPGA實現的難度。