[發明專利]硅片自動去毛邊裝置

在審

• 申請號: 201611262374.6
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN106736970A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 孫鐵囤;姚偉忠;湯平
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/12
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258
• 代理人: 鄭云

技術領域

本發明涉及硅片生產設備技術領域，尤其是涉及一種硅片自動去毛邊裝置。

背景技術

在多線切割晶棒生產硅片的過程中，對切割好的硅片傳統采用手工進行脫膠，切割好的硅片易出現毛邊等現象，在硅片的后續生產過程中，毛邊容易導致硅片報廢，使得硅片無法使用，造成生產成本增加，并且使得產品的合格率較低。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為了解決切割好的硅片易出現毛邊等現象，在硅片的后續生產過程中，毛邊容易導致硅片報廢，使得硅片無法使用，造成生產成本增加，并且使得產品的合格率較低的問題，現提供了一種硅片自動去毛邊裝置。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種硅片自動去毛邊裝置，包括機架及轉動設置在機架上的工作平臺，所述機架上設有用于驅動工作平臺轉動的第一電機，所述機架上設有用于去毛邊的刀頭，所述機架上設有用于帶動刀頭靠近或者遠離工作平臺的第一氣缸，所述機架上滑動設置有滑板，所述滑板位于所述工作平臺上方，所述機架上設有用于驅動滑板滑動的驅動裝置，所述滑板上沿其滑動方向設有第一拉桿和第二拉桿，所述第一拉桿的一端轉動設有壓板，所述第二拉桿的一端設有吸盤，所述第二拉桿上設有吸氣泵，所述吸氣泵與所述吸盤連通，，所述吸盤與壓板均位于所述工作平臺的上方，所述滑板上設有伸出端朝下的第二氣缸，所述第一拉桿和第二拉桿均設置在所述第二氣缸的伸出端上。本發明適用于圓形硅片，通過第二氣缸帶動第二拉桿，并由第二拉桿上的吸盤將硅片吸住，然后將硅片放置在工作平臺上，通過第一拉桿上的壓板將硅片壓住，通過第一電機帶動轉動平臺轉動，同時帶動硅片和壓板轉動，再由第一氣缸帶動刀頭靠近硅片的邊緣的毛邊進行去除，完成去除后將硅片取走即可。

進一步地，所述驅動裝置包括設置在機架上的第二電機，所述機架上設有導軌，所述導軌上滑動設置有導向塊，所述導向塊設置在所述滑板上，所述機架上轉動設置有絲杠，所述絲杠與所述導向塊螺紋連接，所述絲杠與所述導軌相互平行設置。通過絲杠帶動導向塊在導軌上滑動，并實現滑板在機架上滑動。

進一步地，所述第二氣缸的伸出端上設有連桿，所述第一拉桿設置在連桿的一端，所述第二拉桿設置在連桿的另一端，所述滑板上開設有與所述第一拉桿相匹配的第一通孔，所述滑板上開設有與所述第二拉桿相匹配的第二通孔，所述第一拉桿遠離壓板的一端滑動設置在所述第一通孔內，所述第二拉桿遠離吸盤的一端滑動設置在所述第二通孔內。使得第二氣缸能夠同時帶動第一拉桿和第二拉桿上升或者下降，第一通孔對第一拉桿起到導向作用，第二通孔對第二拉桿起到導向作用。

為了防止工作平臺偏轉，進一步地，所述機架與所述工作平臺之間設有萬向滾珠。萬向滾珠對工作平臺起到一定的支撐作用，同時也能夠保證工作平臺轉動順暢無阻。

本發明的有益效果是：本發明硅片自動去毛邊裝置在使用時，適用于圓形硅片，通過第二氣缸帶動第二拉桿，并由第二拉桿上的吸盤將硅片吸住，然后將硅片放置在工作平臺上，通過第一拉桿上的壓板將硅片壓住，通過第一電機帶動轉動平臺轉動，同時帶動硅片和壓板轉動，再由第一氣缸帶動刀頭靠近硅片的邊緣的毛邊進行去除，完成去除后將硅片取走即可，本發明能夠快速的去除硅片上的毛邊，提高了硅片的合格率，避免了切割好的硅片易出現毛邊等現象，在硅片的后續生產過程中，毛邊容易導致硅片報廢，使得硅片無法使用，造成生產成本增加，并且使得產品的合格率較低的問題。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。

圖1是本發明硅片自動去毛邊裝置的主視圖；

圖2是本發明硅片自動去毛邊裝置的俯視圖。

圖中：1、機架，2、工作平臺，3、第一電機，4、刀頭，5、第一氣缸，6、滑板，7、第一拉桿，8、第二拉桿，9、壓板，10、吸盤，11、吸氣泵，12、第二氣缸，13、第二電機，14、導軌，15、導向塊，16、絲杠，17、連桿，18、萬向滾珠。

具體實施方式

現在結合附圖對本發明做進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發明的基本結構，因此其僅顯示與本發明有關的構成。

實施例