[發明專利]一種單晶硅片的制絨方法

在審

• 申請號: 201611255446.4
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN106835288A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 姜翰欽
• 申請（專利權）人: 德清麗晶能源科技有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;H01L31/18
• 代理公司: 杭州豐禾專利事務所有限公司33214
• 代理人: 王鵬舉

1.一種單晶硅片的制絨方法，其特征在于，由以下步驟：

1)制絨添加劑的配置：依次將氟碳表面活性劑，聚乙烯吡咯烷酮，丙烯酸-馬來酸酐共聚物，丙二醇甲醚，苯甲酸鈉，對甲苯磺酸鈉溶解到水中，混合均勻；

2)制絨液的配置：將步驟1)制得的制絨添加劑加到堿溶液中，混合均勻；所述的制絨添加劑與堿溶液的質量比為0.1～3:100，所述的堿溶液為濃度為1～3％的氫氧化鈉或氫氧化鉀水溶液。

3)將單晶硅片置入步驟2)制得的制絨液中進行制絨，制絨溫度為80～88℃，制絨時間為600～1200s。

2.如權利要求1所述的單晶硅片的制絨方法，其特征在于，所述的氟碳表面活性劑0.01-1％，聚乙烯吡咯烷酮1-5％，丙烯酸-馬來酸酐共聚物0.1-3％，丙二醇甲醚1-5％，苯甲酸鈉0.05-0.5％，對甲苯磺酸鈉0.1-2％，余量為水，上述百分比為質量百分比。