[發明專利]刮條和顯影裝置

有效

• 申請號: 201611254671.6
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN106622808B
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 翁國光
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B05B15/50
• 分類號: B05B15/50;G02F1/13
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

本發明涉及液晶面板制造技術領域，尤其涉及一種刮條和顯影裝置。本發明提出的顯影裝置，由于其具有用于對藥刀進行清潔的刮條，可以定期對藥刀的條狀狹縫進行清潔，避免了藥刀的堵塞，保證了藥刀向基板上噴灑的顯影液的均勻性，提高了顯影過程中產品的品質。尤其當刮條上的刮片伸入到條狀狹縫的距離為2mm時，可以充分對條狀狹縫進行清潔，保證了清潔效果，并且當伸入到條狀狹縫中的刮片的寬度與條狀狹縫的寬度小1mm時，既保證了刮條的順暢移動，又減少了藥刀對刮條的損害，提高了刮條的使用壽命。

技術領域

本發明涉及液晶面板制造技術領域，尤其涉及一種刮條和顯影裝置，該顯影裝置使用該刮條對顯影裝置中的藥刀口進行清潔。

背景技術

在液晶面板的制造中，對基板完成曝光后，需要對曝光后的無用光刻膠進行顯影液沖洗，以顯示出需要的圖形，這一過程稱為顯影。在現有的顯影裝置中，在顯影裝置上安裝有藥刀，藥刀均勻地向基板噴灑顯影液，以去除無用的光刻膠，進而完成顯影過程。

圖1a為現有技術中使用的藥刀10的截面圖，在藥刀的下部具有第三斜面11和第四斜面12，在第三斜面11和第四斜面12的交匯處設置有條狀狹縫13，藥刀通過條狀狹縫向基板上噴灑顯影液以完成顯影過程。圖1b為圖1a中藥刀的仰視圖，在仰視圖中可以看出，條狀狹縫13沿著藥刀長度延伸并穿過藥刀的兩個端面，參看圖1b。在實際生產中，為節約成本和環保考慮，顯影液要循環使用，隨著顯影液的藥液劣化，藥刀在噴灑顯影液過程中，可能會出現藥刀口被堵塞的風險，藥刀口被堵塞后，噴灑在基板上的顯影液不再均勻，進而出現顯影缺陷，影響了產品的品質。

發明內容

為了避免顯影裝置中的藥刀的條狀狹縫被堵塞產生顯影缺陷，本發明提出了一種刮條和顯影裝置，本發明提出的顯影裝置使用本發明的刮條對藥刀的條狀狹縫進行清潔，防止條狀狹縫被堵塞。

本發明提出了一種顯影裝置，包括用于噴灑顯影液的藥刀，所述藥刀通過條狀狹縫向外噴灑顯影液，其特征在于，所述顯影裝置還包括刮條，所述刮條設置在所述藥刀的下方，其中，所述刮條包括刮片，所述刮片伸入到所述條狀狹縫中，所述刮條沿所述條狀狹縫的延伸方向移動，對所述藥刀進行清潔。

這種顯影裝置，由于增加了對藥刀條狀狹縫進行清潔的刮條，從而避免了藥刀堵塞，保證了藥刀向基板上噴出的顯影液均勻性，提高了顯影過程中產品的品質。

作為對本發明的顯影裝置的進一步改進，所述刮條沿所述條狀狹縫的延伸方向勻速移動，對所述藥刀進行清潔。當刮條作勻速清潔時，能夠保證清潔的效果，同時保證了刮條沿條狀狹縫運動時，刮條和藥刀相互之間作用力的均一性，提高了刮條的使用壽命。進一步，當所述刮片伸入至所述條狀狹縫中的距離為2mm，保證了刮片的清潔深度，可以獲得更好的清潔效果。同時，當所述刮片伸入至所述條狀狹縫中的部分在沿所述條狀狹縫的寬度方向上的最大寬度比所述條狀狹縫的寬度小1mm時，既避免了刮條與藥刀摩擦對刮條的損害，又保證了刮條在條狀狹縫中順暢移動，保證了清潔的速度。

本發明同時提出了一種刮條，用于安裝在上述所述的顯影裝置中，所述顯影裝置包括用于噴灑顯影液的藥刀，所述藥刀通過條狀狹縫向外噴灑顯影液，其特征在于，所述刮條包括刮片和支持部，所述支持部設置在所述刮片的下部，所述刮片伸入到所述條狀狹縫中，對所述藥刀進行清潔。

這樣設置的刮條，使用刮條的刮片對藥刀進行清潔，使用支持部來固定刮條，這樣分開設置的刮條，可以使得刮片和支持部在工作時互不影響，保證了刮條的使用壽命。

作為對刮條結構的進一步改進，所述支持部具有第一斜面和第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面之間形成第一角度，所述刮片設置在所述支持部的第一角度處，所述刮片自第一斜面和第二斜面朝向背離所述支持部方向延伸，所述刮片在背離所述支持部的一端呈尖角。

當第一斜面和第二斜面形成夾角時，能夠使得刮條靠近藥刀，當刮片頂端為尖角時，更有利于刮片伸入到條狀狹縫中，以便對藥刀進行清潔。