[發明專利]一種超臨界狀態清洗系統及方法

有效

• 申請號: 201611254190.5
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN106733945B
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發明（設計）人: 楊凡;楊景峰
• 申請（專利權）人: 上海頤柏熱處理設備有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 趙繼明

本發明涉及一種超臨界狀態清洗系統，包括清洗室(4)、氣體增壓裝置(11)、第一加熱裝置(5)和二氧化碳供給裝置，所述的清洗室(4)分別與第一加熱裝置(5)和二氧化碳供給裝置連接，其特征在于，所述的清洗室(4)連有真空泵組(1)。與現有技術相比，本發明將工件進入清洗室時帶進來的空氣抽干凈，防止CO₂與空氣的混合，提高清洗效果。

技術領域

本發明涉及一種熱處理設備產品的清洗裝置，尤其是涉及一種超臨界狀態清洗系統及方法。

背景技術

熱處理行業在售的清洗設備，一般都是水基清洗機，極少數用的是碳氫溶劑清洗機。

水基清洗機是用水作為清洗介質，由于水是不能溶解油的，而水基清洗機大多數情況下都是清洗油淬后的工件，為了提高清洗效果，不得不調整水的溫度和在水里面添加清洗劑(或防銹劑)。

水基清洗機的最大缺陷是水污染，因為清洗機長時間工作后，水里面含有乳化油，對清洗效果有相當大的影響，所以需要定期更換水。清洗下來的廢油(淬火油)，也是要通過有資質的處理單位處理，不能回收再利用，從而使用成本也大大的提高。水基清洗機清洗后的工件還會存在清潔度不過關的問題，對于一些工件有盲孔或者細小的縫隙，基本上是洗不到，這也使得水基清洗機不能在高清潔度要求的行業里面應用。

碳氫溶劑清洗機是利用碳氫溶劑作為清洗介質，碳氫溶劑是石油烴的混合物，能溶解淬火油，清洗效果非常好，清洗后的工件表面非常干凈。利用是碳氫溶劑的閃點低，通過加熱的方式，將碳氫溶劑蒸餾出來，留下的淬火油還能繼續回收再利用。

碳氫溶劑清洗機清洗效果好，而且沒有污染，但是碳氫溶劑是易燃易爆物質，因此在用戶在使用該設備時需加以防護，不是最優選擇。

申請號為200810226688X的中國專利公開了一種半導體二氧化碳超臨界吹掃清洗機，包括清洗室和分離室，清洗室與分離室通過密封的二氧化碳出氣管連通，清洗室帶有噴嘴，二氧化碳通過噴嘴直接噴射到清洗室底部的待清洗硅片上。然而該清洗室在工作過程中可能混入空氣，不利于保證清洗效果。

發明內容

本發明的目的就是為了克服上述現有技術存在的缺陷而提供一種安全無污染、清洗效果好、清洗劑可循環利用的超臨界狀態清洗系統及方法。

本發明的目的可以通過以下技術方案來實現：

一種超臨界狀態清洗系統，包括清洗室、氣體增壓裝置、第一加熱裝置和二氧化碳供給裝置，所述的清洗室分別與加熱裝置和二氧化碳供給裝置連接，所述的清洗室連有真空泵組。

所述的二氧化碳供給裝置包括相互連接的儲存罐和緩存罐，所述的氣體增壓裝置設置在緩存罐與清洗室之間的管路上，二氧化碳從儲存罐流入緩存罐，經氣體增壓裝置增壓后進入清洗室。

所述的系統中的管路包括：兩端分別與儲存罐和緩存罐連接的第五管路、兩端分別與緩存罐和清洗室連接的第三管路、兩端分別與清洗室和緩存罐連接的第二管路以及兩端分別與緩存罐和儲存罐連接的第四管路，所述的氣體增壓裝置與第三管路和第四管路分別連接，第二管路、第三管路、第四管路、第五管路上各自設有閥門。

清洗前，二氧化碳從儲存罐輸出，依次經過第五管路、緩存罐和第三管路進入清洗室，清洗后，二氧化碳從清洗室輸出，依次經過第二管路、緩存罐和第四管路進入儲存罐。

所述的系統還包括與清洗室連接的第一壓力測量裝置。

所述的系統還包括與緩存罐連接的第二壓力測量裝置。

所述的系統還包括分別與所述的儲存罐連接的第二加熱裝置和第三壓力測量裝置。

所述的緩存罐上方設有干冰添加口。

所述的緩存罐底部設有廢液回收口。