[發明專利]一種氟化氫氣相腐蝕設備及方法

在審

• 申請號: 201611253281.7
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN108251895A
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 許開東
• 申請（專利權）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號: C30B33/12
• 分類號: C30B33/12
• 代理公司: 北京得信知識產權代理有限公司 11511
• 代理人: 孟海娟

1.一種氟化氫氣相腐蝕設備，其特征在于，

包括反應腔室、氣相氟化氫源、和氟化氫氣相增益裝置，

所述反應腔室設有第一入氣口和第二入氣口，所述第一入氣口與所述氣相氟化氫源相連，所述第二入氣口與所述氟化氫氣相增益裝置相連，

所述氟化氫氣相增益裝置用于在放置在所述反應腔室內的晶圓與從所述第一入氣口進入的氣相氟化氫反應后，將規定有機液體氣液混合氣化，并通過所述第二入氣口通入所述反應腔室，以使所述氣化的規定有機液體與所述殘留在晶圓表面上的水形成比水更容易蒸發或揮發的共沸混合物后更容易從所述晶圓表面蒸發或揮發帶出。

2.根據權利要求1所述的氟化氫氣相腐蝕設備，其特征在于，

所述規定有機液體包括規定醇類有機物和/或規定酮類有機物。

3.根據權利要求1所述的氟化氫氣相腐蝕設備，其特征在于，

所述規定醇類有機物包括甲醇、乙醇、丙醇中的至少一種，所述規定酮類有機物包括丙酮。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的氟化氫氣相腐蝕設備，其特征在于，

所述反應腔室還設有第三入氣口，所述第三入氣口與氮氣源相連，所述氮氣源用于在完成對所述晶圓的氟化氫氣相腐蝕之后，在將所述規定有機液體氣化并通過所述第二入氣口通入所述反應腔室之前，將氮氣通過所述第三入氣口通入所述反應腔室，以使所述氮氣吹掃所述反應腔室中殘余的氟化氫氣體。

5.一種氟化氫氣相腐蝕方法，其特征在于，

包括以下步驟：

在完成對晶圓的氟化氫氣相腐蝕工藝后，向反應腔室中通入氣化后的規定有機液體；以及

待所述氣化后的規定有機液體與所述晶圓表面的水形成共沸混合物后，將所述共沸混合物從所述晶圓表面蒸發或揮發帶出。

6.根據權利要求5所述的氟化氫氣相腐蝕方法，其特征在于，

所述規定有機液體包括規定醇類有機物和/或規定酮類有機物。

7.根據權利要求5或6所述的氟化氫氣相腐蝕方法，其特征在于，

所述規定氣化的有機液體蒸汽的氣體流量為1L/min～500L/min。

8.根據權利要求5或6所述的氟化氫氣相腐蝕方法，其特征在于，

所述規定氣化的有機液體蒸汽的氣體通入時間為1min～100min。

9.根據權利要求5所述的氟化氫氣相腐蝕方法，其特征在于，

在完成對晶圓的氟化氫氣相腐蝕工藝后，在向反應腔室中通入氣化后的規定有機液體之前，所述方法還包括如下步驟：

將氮氣通入所述反應腔室，以使所述氮氣吹掃所述反應腔室中殘余的氟化氫氣體。

10.根據權利要求9所述的氟化氫氣相腐蝕方法，其特征在于，

所述氮氣流量為1L/min～500L/min，吹掃時間為0.5分鐘～20分鐘。