[發(fā)明專利]柵極驅(qū)動(dòng)單元及其制作方法、柵極驅(qū)動(dòng)電路

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611253204.1
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN106653687B
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐向陽
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L27/12;G09G3/36
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種用于制作柵極驅(qū)動(dòng)單元的方法，其特征在于，包括圖案化第二金屬層，具體包括：

在所述第二金屬層上形成光阻層；

利用半色調(diào)掩膜版對所述光阻層進(jìn)行曝光和顯影；

判斷是否執(zhí)行燒光阻步驟；

在判斷出執(zhí)行燒光阻步驟時(shí)，采用燒光阻工藝去除光阻層上對應(yīng)所述半色調(diào)掩膜版的半透光區(qū)域的光阻，采用蝕刻工藝蝕刻掉所述第二金屬層上未被光阻覆蓋的金屬，并灰化剩余光阻，得到第一金屬圖案；

在判斷出不執(zhí)行燒光阻步驟時(shí)，采用蝕刻工藝蝕刻掉所述第二金屬層上未被光阻覆蓋的金屬，并灰化剩余光阻，得到第二金屬圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一/二金屬圖案包括所述柵極驅(qū)動(dòng)單元中開關(guān)元件的漏極和源極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一/二金屬圖案包括所述柵極驅(qū)動(dòng)單元中電容的一個(gè)極板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一/二金屬圖案包括所述柵極驅(qū)動(dòng)單元中開關(guān)元件的漏極和源極，以及所述柵極驅(qū)動(dòng)單元中電容的一個(gè)電極。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述燒光阻工藝包括氧等離子體燒光阻工藝。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述半色調(diào)掩膜版被配置為調(diào)整所述柵極驅(qū)動(dòng)單元中開關(guān)元件的寬長比，和/或，調(diào)整所述柵極驅(qū)動(dòng)單元中電容的極板的重疊面積。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，還包括：

提供襯底基板；

在所述襯底基板上形成第一金屬層，并使所述第一金屬層包括所述柵極驅(qū)動(dòng)單元中開關(guān)元件的柵極；

在所述第一金屬層上形成柵極絕緣層；

在所述柵極絕緣層上形成半導(dǎo)體層；

在所述半導(dǎo)體層上形成所述第二金屬層。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述第二金屬層的材料為：

銅、鋁、鉬；或者

由銅、鋁和鉬中的兩種或三種制成的合金。

9.一種采用如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的制作方法制作的柵極驅(qū)動(dòng)單元。

10.一種柵極驅(qū)動(dòng)電路，包括多個(gè)如權(quán)利要求9所述的柵極驅(qū)動(dòng)單元，其中每個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)單元被配置成驅(qū)動(dòng)與其相對應(yīng)的掃描線。