[發明專利]具有可傾斜結構的微機電器件和可傾斜結構的位置檢測

有效

• 申請號: 201611249770.5
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN107555394B
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: R·卡爾米納蒂;E·杜奇;S·康蒂
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: B81B5/00
• 分類號: B81B5/00;B81C99/00;G03B21/14
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;董典紅

1.一種微機電器件(50；150)，包括：

平臺(52)，被配置為通過旋轉角度(θ)來轉動；

狹縫(70)，在所述平臺中；

腔(53)，面對所述平臺的第一側(52A)；以及

集成的多個光電檢測器(71)，面對所述腔(53)和所述平臺的第一側，

其中所述狹縫具有矩形形狀，所述矩形形狀被配置為生成能夠由所述集成的多個光電檢測器來檢測的衍射現象，以用于確定所述平臺的旋轉角度。

2.根據權利要求1所述的器件，其中，所述狹縫(70)具有中心(B)，并且所述多個光電檢測器(71)包括被布置為與面向所述平臺(52)的所述腔(53)的底壁(53A)相鄰的至少一個第一光電檢測器(71A)和至少一個第二光電檢測器(71B)，所述第一光電檢測器和所述第二光電檢測器被布置為與穿過所述狹縫(70)的中心且垂直于所述底壁(53A)的垂直線相距不同的距離。

3.根據權利要求2所述的器件，其中，所述第一光電檢測器(71A)沿著所述垂直線布置，并且所述第二光電檢測器(71B)被布置為與所述垂直線相距一距離。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的器件，其中，所述多個光電檢測器(71)包括以從直線、四邊形、圓形、橢圓形和環形中選擇的構型進行布置的光電檢測器的陣列。

5.根據權利要求1-3中任一項所述的器件，還包括用于支撐所述平臺的結構(51)，所述結構包括接合到一起的第一襯底(60)和第二襯底(61)，其中所述第一襯底(60)具有面對所述第二襯底(61)的頂面(60A)并形成所述腔(53)的底壁(53A)，所述多個光電檢測器(71)被集成在所述第一襯底(60)中或所述第一襯底(60)上；所述第一襯底或所述第二襯底(61)形成橫向地界定所述腔(53)的承載壁(54)并包括半導體材料。

6.根據權利要求5所述的器件，包括在所述腔(53)內位于所述底壁(53A)上或所述承載壁上的抗反射結構(90)。

7.根據權利要求1-3中任一項所述的器件，其中，所述狹縫(70)具有包括在1μm x10μm和5μm x50μm之間的尺寸。

8.根據權利要求1-3中任一項所述的器件，其中，所述平臺(52)被配置為沿著旋轉軸(A)轉動，并且所述狹縫(70)沿著所述旋轉軸(A)相對于所述平臺(52)布置在中心處。

9.根據權利要求1-3中任一項所述的器件，其中，所述多個光電檢測器(71)包括以多邊形構型進行布置的光電檢測器的陣列。

10.根據權利要求2或3所述的器件，還包括處理單元(75)，接收分別由所述第一光電檢測器(71A)和所述第二光電檢測器(71B)生成的第一光強度信號和第二光強度信號，所述處理單元包括減法器(76)和計算單元(77)，所述減法器被配置為生成所述第一光強度信號和所述第二光強度信號之間的差值信號，所述計算單元用于基于所述差值信號計算所述平臺(52)的旋轉角度。

11.根據權利要求10所述的器件，其中，所述計算單元(77)基于以下等式計算所述平臺(52)的旋轉角度(θ)：

θ＝m[I(0,θ)-I(X,θ)]+q

其中，m和q是所存儲的與所述器件的特性相關的參數。

12.根據權利要求1-3中任一項所述的器件，形成微反射鏡。