[發明專利]參考鏡偏擺裝置

有效

• 申請號: 201611249581.8
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN106643476B
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 周其
• 申請（專利權）人: 深圳市維度科技有限公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 鄭興旺

本發明公開了一種參考鏡偏擺裝置，包括調節支架，調節支架設置繞X軸旋轉的X軸向偏擺件，所述調節支架與X軸向偏擺件之間通過旋轉機構相互旋轉連接，所述的調節支架設有推動X軸向偏擺件轉動的X軸驅動電機以及使X軸偏擺復位的復位彈簧；所述的X軸向偏擺件設有繞Y軸旋轉的Y軸向偏擺件，Y軸向偏擺件與X軸向偏擺件之間通過旋轉機構相互旋轉連接，在X軸向偏擺件上設有推動Y軸向偏擺件轉動的Y軸驅動電機，以及使Y軸向偏擺件復位的復位彈簧，所述的Y軸驅動電機與X軸驅動電機均為直線往復步進電機，所述Y軸向偏擺件安裝有參考鏡，能夠大大降低參考鏡自動調節結構成本并提升干涉測量的穩定性和準確性。

技術領域

本發明涉及干涉測量領域，更具體地說，它涉及一種參考鏡偏擺裝置。

背景技術

干涉測量是通過兩束相干光之間的相干特性產生的光程差產生的明亮條紋來測量高度數據的一種方法；光通過分光棱鏡分為兩束光，經過反射參考鏡以及樣品返回的光之間的光程差形成干涉條紋；而參考鏡的角度的調整精度直接決定了測量的準確性及可靠性。

但參考鏡調節大多是通過手動的方式進行的、而現有自動調節通常采用壓電陶瓷調節角度方式，成本較高，且斷電后會恢復初始位置；需要時刻進行保持電壓。而使用步進電機進行移位的成為了較為可行的一個辦法，但步進電機移動的震動和偏移量會導致軸心的偏移、角度調節也并不精確，無法滿足實際的使用需求。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明的目的在于提供一種參考鏡偏擺裝置，能夠大大降低參考鏡自動調節結構成本并提升干涉測量的穩定性和準確性。

為實現上述目的，本發明提供了如下技術方案：一種參考鏡偏擺裝置，包括調節支架，調節支架設置繞X軸旋轉的X軸向偏擺件，所述調節支架與X軸向偏擺件之間通過旋轉機構相互旋轉連接，所述的調節支架設有推動X軸向偏擺件轉動的X軸驅動電機以及使X軸偏擺復位的復位彈簧；所述的X軸向偏擺件設有繞Y軸旋轉的Y軸向偏擺件，Y軸向偏擺件與X軸向偏擺件之間通過旋轉機構相互旋轉連接，在X軸向偏擺件上設有推動Y軸向偏擺件轉動的Y軸驅動電機，以及使Y軸向偏擺件復位的復位彈簧，所述的Y軸驅動電機與X軸驅動電機均為直線往復步進電機，所述Y軸向偏擺件安裝有參考鏡。

通過采用上述技術方案，調節支架上的X軸向偏擺件繞X軸旋轉，設置與X軸向偏擺件上的Y軸向偏擺件繞Y軸偏擺，通過X軸向偏擺件與Y軸向偏擺件的相互作用，從而控制參考鏡實現各個方位的調節，X軸驅動電機與Y軸驅動電機均為直線往復步進電機，直線往復電機的主軸在伸縮的時候，震動較小；X軸驅動電機與Y軸驅動電機的主軸只起推動的推的作用，在電機主軸伸出的時候，X軸向偏擺件或Y軸向偏擺件被推動而旋轉，而電機主軸縮回的的時候，通過彈簧的彈力實現復位，由于有彈簧的作用，使電機主軸的端部始終與被推動X軸向偏擺件或Y軸向偏擺件保持緊貼，并且也消除了電機主軸內部所存在的間隙，增加參考鏡調節的精度，采用直線往復步進電機作為驅動元件，其成本較低，震動小，可以增加參考鏡的調節精度。

本發明進一步設置為：所述的Y軸驅動電機以及X軸驅動電機的主軸端部均固定有套筒，在套筒的端部設置了滾動體。

通過采用上述技術方案，X軸驅動電機推動X軸向偏擺件運動的過程中，電機的主軸會與X軸向偏擺件接觸，并且轉軸端部與X軸向偏擺件之間會有相對的位移，在電機的主軸上設置了滾動體之后，在兩者相互位移的過程中，更加的平順，減少了X軸向偏擺件轉動過程中的震動。

本發明進一步設置為：所述旋轉機構包括第一轉軸與第二轉軸，所述的第一轉軸的一端設置有螺帽，另一端設置有螺紋以及與螺紋嚙合的鎖緊螺母，所述的第一轉軸與第二轉軸同軸設置，所述的第一轉軸或第二轉軸通過轉軸固定組件與調節支架或X軸向偏擺件固定。