[發(fā)明專利]傳感器及流量測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611247839.0
• 申請(qǐng)日: 2016-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106840297A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陶仁義;張金龍;魏旭;李輝;于琰平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新奧科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): G01F15/00
• 分類號(hào): G01F15/00
• 代理公司: 北京德恒律治知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11409
• 代理人: 章社杲,盧軍峰

1.一種傳感器，其特征在于，包括：流量測(cè)量單元(1)，以及至少部分圍繞所述流量測(cè)量單元(1)設(shè)置的加熱裝置(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，沿著被測(cè)流體流向，在所述流量測(cè)量單元(1)的上游和下游設(shè)置所述加熱裝置(8)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)完全圍繞所述流量測(cè)量單元(1)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)的長(zhǎng)度(b)和所述流量測(cè)量單元(1)的長(zhǎng)度(h)的比例為：1.5≤b/h≤5。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述流量測(cè)量單元(1)和所述加熱裝置(8)之間的距離(c)的范圍為0-300um。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)的寬度(a)的范圍為1-3mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述流量測(cè)量單元(1)和所述加熱裝置(8)設(shè)置在硅片載體(3)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器，其特征在于，所述硅片載體(3)還包括對(duì)應(yīng)于所述流量測(cè)量單元(1)設(shè)置的第一鏤空區(qū)域(5)和/或?qū)?yīng)于所述加熱裝置(8)設(shè)置的第二鏤空區(qū)域(6)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)的寬度(a)小于所述第二鏤空區(qū)域(6)的寬度(d)。

10.一種流量測(cè)量方法，其特征在于，在不進(jìn)行流量測(cè)量時(shí)，對(duì)流量測(cè)量單元(1)周圍進(jìn)行加熱。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的流量測(cè)量方法，其特征在于，加熱結(jié)束至少300ms后再進(jìn)行流量測(cè)量。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的流量測(cè)量方法，其特征在于，對(duì)所述流量測(cè)量單元(1)周圍不同位置同時(shí)加熱；

或者，對(duì)所述流量測(cè)量單元(1)周圍不同位置交替加熱。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的流量測(cè)量方法，其特征在于，當(dāng)所測(cè)得的流量值的誤差超過(guò)所述流量測(cè)量單元(1)最大允許誤差時(shí)，對(duì)所述流量測(cè)量單元(1)周圍進(jìn)行加熱。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的流量測(cè)量方法，其特征在于，對(duì)所述流量測(cè)量單元(1)周圍進(jìn)行加熱的加熱裝置(8)的溫度與環(huán)境溫度之和的范圍為40℃至287℃。

15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的流量測(cè)量方法，其特征在于，從開(kāi)始加熱到溫度穩(wěn)定的時(shí)間不大于50ms。