[發明專利]一種克服激光誘導擊穿光譜中基體干擾的元素分析方法

有效

• 申請號: 201611247147.6
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN106645375B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 李祥友;李嘉銘;郭連波;曾曉雁;陸永楓;郝中騏;周冉;唐云;易榮興
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 梁鵬

1.一種克服激光誘導擊穿光譜中基體干擾的元素分析方法，其特征在于，具體包括以下步驟：

S1.準備好待測樣品，打開固定波長激光器輸出激光束，采用激光束燒蝕待測樣品表面產生等離子體；

S2.準備一個波長可調諧激光器，該波長可調諧激光器的聚焦鏡能夠上下左右移動；打開該波長可調諧激光器，將激光束的波長調節為與待測元素原子的激發線相同，輸出激光束并通過聚焦鏡將激光束聚焦在等離子體上；

S3.通過調節波長可調諧激光器的聚焦鏡，改變波長可調諧激光器的激光束的焦點在等離子體上的位置以掃描等離子體的不同部位，采集不同聚焦位置處的等離子體發射光譜，記錄基體元素譜線和待測元素譜線強度；

S4.對比各個聚焦位置時的光譜強度，確定待測元素原子的最佳激發效率區域，調節波長可調諧激光器的聚焦鏡的位置，令波長可調諧激光器的激光束聚焦在等離子體的最佳激發效率區域上；

S5.采集最佳激發效率區域上的等離子體發射光譜，通過該等離子體發射光譜對待測元素進行定量或定性分析。

2.如權利要求1所述的元素分析方法，其特征在于，在步驟S2中，通過在所述波長可調諧激光器的聚焦鏡上設置一個二維移動臺來實現聚焦鏡的上下左右移動。

3.如權利要求2所述的元素分析方法，其特征在于，在步驟S3中，將所述二維移動臺與計算機連接，通過計算機控制二維移動臺的移動，實現波長可調諧激光器的激光束在等離子體上的自動掃描，采集不同聚焦位置處的等離子體發射光譜。

4.如權利要求3所述的元素分析方法，其特征在于，在步驟S4中，采用計算機收集不同聚焦位置處的等離子體發射光譜，自動確定最佳激發效率區域并控制所述二維移動臺移動，將波長可調諧激光器的激光束聚焦在等離子體的最佳激發效率區域。

5.如權利要求1或2所述的元素分析方法，其特征在于，在步驟S3中，以等離子體中心為坐標軸原點，建立坐標系，將波長可調諧激光器的激光束的聚焦位置在坐標系上進行標定，獲得每次聚焦的精確位置。