[發明專利]一種硫化氫檢測傳感器及其制造方法

有效

• 申請號: 201611245853.7
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN106841358B
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 盧革宇;孫海鑫;梁喜雙;顧常飛;俞斌強
• 申請（專利權）人: 江蘇奧力威傳感高科股份有限公司
• 主分類號: G01N27/407
• 分類號: G01N27/407
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 董旭東

1.一種硫化氫檢測傳感器的制造方法，其特征在于包括如下步驟：

1）將Na₃Zr₂Si₂PO₁₂材料制成的粉末與2-(4-甲基-3-環己烯基)-2-丙醇混合成糊狀，噴涂在上層基板上，并填滿蜂窩孔；所述蜂窩孔設有若干并貫穿上層基板設置，蜂窩孔的孔徑為0.1~0.25mm；

2）在上層基板上嵌裝金絲網，保持金絲網的上表面高出所述噴涂層；

3）于850~880℃下燒結2~3小時；

4）在金絲網兩側分別引出Pt引線，然后在金絲網一側涂覆金漿，形成參考電極；在金絲網另一側噴涂CoNi_0.6Cr_0.8Mn_1.6O₅漿料，形成工作電極；金漿及CoNi_0.6Cr_0.8Mn_1.6O₅漿料均由相應粉末材料與乙二醇混合調配而成；每次涂覆和噴涂后均放入紅外燈下干燥后，再涂覆和噴涂下一層，直到所述參考電極的寬度為0.65~0.85mm，厚度為45~60μm；工作電極的寬度為2.0~2.5mm，厚度為90~120μm；

5）于600~650℃下燒結4~6小時后取出；

6）配制粘合劑，將Al₂O₃、Na₂SiO₃和去離子水按照1：(3~5)：（10~15）的比例混合均勻，Na₂SiO₃采用Na₂SiO₃?9H₂O作為原料，其中的結晶水換算成去離子水進行計量；

8）以粘合劑涂覆在上層基板和下層基板之間，再將上層基板和下層基板粘接在一起；

7）在CO₂環境下，于160~250℃保溫4~5小時，使上層基板與下層基板粘接牢固；

8）將電熱絲安裝在下層基板的凹槽內。