[發(fā)明專(zhuān)利]一種掩膜集成框架及蒸鍍裝置有效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	201611243248.6	申請(qǐng)日：	2016-12-28
公開(kāi)（公告）號(hào)：	CN106480404B	公開(kāi)（公告）日：	2019-05-03
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	林治明;王震;張健	申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人：	京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
主分類(lèi)號(hào)：	C23C14/04	分類(lèi)號(hào)：	C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24
代理公司：	北京中博世達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 11274	代理人：	申健
地址：	100015 ***	國(guó)省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	一種集成框架裝置
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專(zhuān)利分類(lèi)

C 化學(xué)；冶金

C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理

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