[發(fā)明專利]一種控制砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)尺寸的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611242713.4
• 申請日: 2016-12-28
• 公開（公告）號: CN106783578B
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王盛凱;黃凱亮;劉洪剛;孫兵
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: H01L21/306
• 分類號: H01L21/306;B82Y30/00;B82Y40/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 任巖

1.一種控制砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)尺寸的方法，其特征在于，利用控制砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)尺寸的裝置對砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)的尺寸進(jìn)行控制，包括：

把砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)置于腔體中；

利用熱氧化法對所述砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)的尺寸進(jìn)行控制，砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)的外層部分和氧氣發(fā)生反應(yīng)生成三氧化二砷蒸汽和一氧化二鎵蒸汽所述利用熱氧化法對砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)的尺寸進(jìn)行控制包括：

將腔體抽真空；

向所述腔體通入含氧混合氣體；

將所述腔體內(nèi)的溫度升至反應(yīng)溫度，所述砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)與氧氣發(fā)生氧化反應(yīng)，所述砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)的尺寸減小；

所述向腔體通入含氧混合氣體包括：向腔體內(nèi)充入含氧混合氣體和高純氣體，所述含氧混合氣體是氮氣、氬氣、氦氣、氖氣的一種或多種與氧氣的混合氣體；所述高純氣體是氮氣、氬氣、氦氣、氖氣的一種或多種；

調(diào)節(jié)氧氣分壓至0.01-10帕斯卡區(qū)間，腔體內(nèi)的反應(yīng)溫度至500-700攝氏度區(qū)間；

當(dāng)氧氣分壓介于0.01-0.1帕斯卡之間，腔體內(nèi)的反應(yīng)溫度調(diào)節(jié)至500-650攝氏度區(qū)間；

當(dāng)氧氣分壓介于0.1-10帕斯卡之間，腔體內(nèi)的反應(yīng)溫度應(yīng)調(diào)節(jié)至550-700攝氏度區(qū)間。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述將腔體抽真空包括：

利用分子泵將腔體抽真空，關(guān)閉分子泵。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，

打開混合氣瓶和高純氣瓶，調(diào)節(jié)第一通氣管線和第二通氣管線的流量計，以向腔體內(nèi)充入含氧混合氣體和高純氣體。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述將腔體內(nèi)的溫度升至反應(yīng)溫度，砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)與氧氣發(fā)生氧化反應(yīng)包括：

利用加熱裝置將腔體內(nèi)的溫度升溫至反應(yīng)溫度并保溫，氧化反應(yīng)開始進(jìn)行，砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)的尺寸減小。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述砷化鎵納米微結(jié)構(gòu)是單晶、多晶或者非晶砷化鎵納米線、納米帶、量子點、鰭狀柵。