[發明專利]納米級自動光學檢測系統

有效

• 申請號: 201611240704.1
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN108254385B
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 鄧勇;張偉亮;肖榮輝
• 申請（專利權）人: 東莞東聚電子電訊制品有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228
• 代理人: 羅曉聰

1.納米級自動光學檢測系統，包括：

第一光學檢測機構(1)，該第一光學檢測機構(1)包括：第一光學檢測鏡頭(11)和位于第一光學檢測鏡頭(11)下方的入料軌道(12)，于所述的入料軌道(12)上設置有可沿該入料軌道(12)移動的入料載具(13)；

第二光學檢測機構(2)，該第二光學檢測機構(2)包括：第二光學檢測鏡頭(21)和位于第二光學檢測鏡頭(21)下方的檢測軌道(22)，于所述的檢測軌道(22)上設置有可沿檢測軌道(22)移動的檢測載具(23)；

其特征在于：所述的第一、二光學檢測鏡頭(11、21)采用工業級相機，并且第二光學檢測鏡頭(21)的像素大于第一光學檢測鏡頭(11)；

于所述的第一、二光學檢測機構(1、2)旁側設置有移送機構(3)，所述的移送機構(3)旁設置有收料夾(4)，且第一、二光學檢測機構(1、2)、移送機構(3)、收料夾(4)安裝在機臺(6)上方；

所述的移送機構(3)包括一機械手(31)和移送軌道(32)，所述的機械手(31)可滑動安裝在移送軌道(32)上，通過移送機構(3)的機械手(31)將被檢測產品在第一光學檢測機構(1)、第二光學檢測機構(2)和收料夾(4)之間移動；

所述的第一光學檢測機構(1)中的入料載具(13)安裝在一入料檢測平臺(14)上，該入料檢測平臺(14)與入料軌道(12)配合，并通過驅動機構帶動沿入料軌道(12)實現在X軸方向上運行；于入料檢測平臺(14)側邊還設置有入料校準壓板(17)，該入料校準壓板(17)通過入料校準驅動機構(18)驅動實現在Y/Z軸上的運行；

所述的第二光學檢測機構(2)中的檢測載具(23)安裝在一檢測平臺(24)上，所述的檢測軌道(22)包括：橫向檢測軌道(221)和縱向檢測軌道(222)，其中橫向檢測軌道(221)與檢測平臺(24)配合，并且橫向檢測軌道(221)的底座(220)與縱向檢測軌道(222)配合，該橫、縱向檢測軌道(221、222)在驅動機構帶動下實現檢測平臺(24)在X/Y軸方向上的運行；于檢測平臺(24)側邊還設置有校準壓板(27)，該校準壓板(27)通過校準驅動機構(28)驅動實現在Y/Z軸上的運行。

2.根據權利要求1所述的納米級自動光學檢測系統，其特征在于：所述的第一光學檢測鏡頭(11)安裝在第一鏡頭座(110)上，該第一鏡頭座(110)通過第一鏡頭驅動機構(16)設置在機臺(6)上的第一檢測基座(15)上。

3.根據權利要求1所述的納米級自動光學檢測系統，其特征在于：所述的第二光學檢測鏡頭(21)安裝在第二鏡頭座(210)上，該第二鏡頭座(210)通過第二鏡頭驅動機構(26)設置在機臺(6)上的第二檢測基座(25)上。

4.根據權利要求1-3中任意一項所述的納米級自動光學檢測系統，其特征在于：所述移送機構(3)的機械手(31)包括：夾持部(310)、縱向連接座(315)、旋轉連接座(317)和橫向連接座(319)，所述的夾持部(310)通過一豎直氣缸(316)與縱向連接座(315)連接，所述的縱向連接座(315)通過縱向氣缸與旋轉連接座(317)連接，所述的旋轉連接座(317)通過旋轉氣缸與橫向連接座(319)連接，該橫向連接座(319)安裝在與之配合的移送軌道(32)上。

5.根據權利要求4所述的納米級自動光學檢測系統，其特征在于：所述的夾持部(310)包括：夾持座(314)、固定在夾持座(314)上的夾持氣缸(313)、與夾持氣缸(313)連動的上、下夾持部(311、312)，夾持座(314)與所述豎直氣缸(316)的活塞桿連動，實現夾持部(310)在Z軸豎直方向上的移動；所述的縱向連接座(315)與縱向氣缸的活塞桿連動，實現夾持部(310)在Y軸縱向方向上的移動；所述的旋轉連接座(317)與旋轉氣缸連動，實現夾持部(310)在水平方向上的轉動；所述的橫向連接座(319)與移送軌道(32)配合，并通過絲杠傳動機構(3190)驅動，實現夾持部(310)沿移送軌道(32)在X軸橫向方向上的移動。