[發明專利]磁光等離子生物傳感器在審
| 申請號： | 201611239414.5 | 申請日： | 2016-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN106841119A | 公開（公告）日： | 2017-06-13 |
| 發明（設計）人： | 秦俊;夏瞻;畢磊 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01N21/552 | 分類號： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 成都惠迪專利事務所(普通合伙)51215 | 代理人： | 劉勛 |
| 地址： | 610000 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子 生物 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.磁光等離子生物傳感器，其特征在于，包括二氧化硅襯底和金層，在二氧化硅襯底上，在襯底和金層之間，至襯底至金層方向依次設置有：氮化鈦層、二氧化硅層、釔鐵石榴石層、摻鈰釔鐵石榴石層。
2.如權利要求1所述的磁光等離子生物傳感器，其特征在于，各層厚度為：
氮化鈦層44nm、二氧化硅層15nm、釔鐵石榴石層52nm、摻鈰釔鐵石榴石層48nm、金層10nm。
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