[發明專利]一種快速判斷氣相沉積產品質量缺陷發生時間的方法

在審

• 申請號: 201611238656.2
• 申請日: 2016-12-28
• 公開（公告）號: CN106835061A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 任小紅;吳鋒;高云龍;曹忠;姜海明
• 申請（專利權）人: 內蒙古神舟硅業有限責任公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C16/52;G06F19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種快速判斷氣相沉積產品質量缺陷發生時間的方法，其特征在于，其包括如下步驟：(1)確定樣品沉積速率方程；(2)確定一般氣相沉積反應的速率方程；(3)積分得到氣相沉積厚度方程；(4)求得未知修正比例系數a；(5)解得質量缺陷發生時間；其中，

(1)確定樣品沉積速率方程：通過對整個生產周期的沉積速率進行計算，得到生產周期內每小時所述沉積速率的數據后，應根據所述沉積速率繪制出產品的沉積速率曲線，通過數據處理軟件對所述沉積速率曲線進行擬合，可以得到檢測樣品的所述沉積速率隨時間變化的樣品沉積速率方程，設所述樣品沉積速率方程為y＝f(t)；

(2)確定一般氣相沉積反應的速率方程：同一企業，氣相沉積反應設備雖然型號相同，但因所述氣相沉積反應設備表面反射率、儀表檢測的差異，每臺所述氣相沉積反應設備在相同的時間內沉積速度有微小的不同，但通過實踐檢驗，所述氣相沉積反應設備情況的影響對整個沉積過程的影響均相似，引入所述氣相沉積反應設備對沉積過程影響的修正比例系數a，得出一般氣相沉積反應速率方程y＝f(at)；

(3)積分得到氣相沉積厚度方程：對所述一般氣相沉積反應速率方程y＝f(at)進行積分，即為氣相沉積厚度方程對積分式進行求解，可解得包含未知常量a的沉積厚度h隨變量時間t變化的氣相沉積厚度方程；

(4)求得未知修正比例系數a：測量沉積總厚度h_總，并將測得的所述沉積總厚度h_總和沉積總時間t_總代入所述氣相沉積厚度方程中求解，解得未知修正比例系數a；

(5)解得質量缺陷發生時間：通過對氣相沉積產品截面進行質量檢測，鎖定質量缺陷點的位置，然后測量質量缺陷點處沉積厚度h_缺陷，將質量缺陷點處的所述沉積厚度h_缺陷及所述修正比例系數a代入所述氣相沉積厚度方程，對等式進行求解，即可解得質量缺陷發生時間t_缺陷。

2.根據權利要求1所述的一種快速判斷氣相沉積產品質量缺陷發生時間的方法，其特征在于，所述數據處理軟件為origin軟件。

3.根據權利要求1或2所述的一種快速判斷氣相沉積產品質量缺陷發生時間的方法，其特征在于，在所述步驟(5)之后還包括有對求得的所述質量缺陷發生時間t_缺陷的驗證步驟，重復所述步驟(5)，對經歷質量缺陷發生時間的不同樣品進行檢測計算，求得不同樣品的所述質量缺陷發生時間t_缺陷，并對求得的所述質量缺陷發生時間t_缺陷進行比較，當不同樣品計算出的所述質量缺陷發生時間t_缺陷接近時，即可確定所述步驟(5)計算得到的所述質量缺陷發生時間t_缺陷真實準確。