[發明專利]一種紫外探測器及其制備方法有效

申請號：	201611237294.5	申請日：	2016-12-28
公開（公告）號：	CN106784061B	公開（公告）日：	2019-01-08
發明（設計）人：	劉可為;王瀟;陳星;李炳輝;張振中;申德振	申請（專利權）人：	中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
主分類號：	H01L31/0236	分類號：	H01L31/0236;H01L31/102;H01L31/108;H01L31/18;B82Y30/00
代理公司：	北京集佳知識產權代理有限公司 11227	代理人：	趙青朵
地址：	130033 吉林省長春***	國省代碼：	吉林;22
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種紫外探測器及其制備方法
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【權利要求書】：

1.一種紫外探測器，所述紫外探測器的制備方法，包括以下步驟：

利用等離子體增強分子束外延技術，采用c面藍寶石襯底，控制襯底溫度為950℃，鋅源溫度為500℃，氧化流量為1sccm，射頻功率為250W，獲得厚度為600nm的ZnO薄膜；

利用離子濺射設備，通過控制濺射電流為2mA和濺射時間為7min制備Ag納米薄膜，然后在氮氣氣氛下退火30min，退火溫度為450℃，得到表面分布有Ag顆粒的ZnO薄膜；

將所述表面分布有Ag顆粒的ZnO薄膜通過勻膠前烘、曝光、中烘、顯影、去離子水反復清洗、氮氣吹干、堅膜，形成電極區域；在所述電極區域濺射Au電極層，濺射電流為4mA，濺射時間10min，形成厚度為40nm、長度為5mm、寬度為1mm、距離為2mm的兩個條形Au電極；采用丙酮作為剝離液超聲剝離15min，然后去離子水沖洗，氮氣吹干，制備得到紫外探測器。

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