[發(fā)明專(zhuān)利]基板保持單元和具有該基板保持單元的劃片設(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201611236796.6 | 申請(qǐng)日： | 2016-12-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108218214A | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張喜童 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C03B33/03 | 分類(lèi)號(hào)： | C03B33/03;C03B33/10 |
| 代理公司： | 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 黃艷;李英艷 |
| 地址： | 韓國(guó)慶*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 保持構(gòu)件 支架 基板保持單元 劃片設(shè)備 軸線旋轉(zhuǎn) 平行 驅(qū)動(dòng)單元 隔開(kāi) 基板 移動(dòng) | ||
1.一種用于保持劃片設(shè)備的基板的基板保持單元，所述基板保持單元包括：
第一保持構(gòu)件和第二保持構(gòu)件，其被設(shè)置為沿所述基板的厚度方向彼此隔開(kāi)；
第一支架，所述第一保持構(gòu)件被連接到所述第一支架，以便能夠圍繞平行于所述第一保持構(gòu)件的縱向的軸線旋轉(zhuǎn)；
第二支架，所述第二保持構(gòu)件被連接到所述第二支架，以便能夠圍繞平行于所述第二保持構(gòu)件的縱向的軸線旋轉(zhuǎn)；以及
驅(qū)動(dòng)單元，其移動(dòng)所述第一支架和所述第二支架中的至少一個(gè)支架，使得所述第一保持構(gòu)件和所述第二保持構(gòu)件可以彼此靠近和遠(yuǎn)離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持單元，其中，所述驅(qū)動(dòng)單元包括：
支撐構(gòu)件，其支撐所述第一支架和第二支架中的至少一個(gè)支架，使得所述第一支架和第二支架中的至少一個(gè)支架能夠圍繞鉸接軸旋轉(zhuǎn)；
連接柄，其與所述第一支架和第二支架中的至少一個(gè)支架連接；
連接桿，其與所述連接柄連接；以及
驅(qū)動(dòng)裝置，其移動(dòng)所述連接桿。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持單元，其中，所述連接桿上設(shè)有連接銷(xiāo)，所述連接柄中設(shè)有長(zhǎng)孔，且所述連接柄與所述連接桿通過(guò)所述連接銷(xiāo)和所述長(zhǎng)孔來(lái)可旋轉(zhuǎn)地連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持單元，其中，在所述第一保持構(gòu)件和所述第二保持構(gòu)件與所述基板的兩個(gè)表面形成接觸的接觸部上設(shè)置有由彈性材料制成的接觸構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持單元，其中，所述第一保持構(gòu)件通過(guò)第一樞軸連接到所述第一支架，并且所述第二保持構(gòu)件通過(guò)第二樞軸連接到所述第二支架。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持單元，其中，所述第一保持構(gòu)件與所述第一支架之間連接有第一彈性構(gòu)件，并且所述第二保持構(gòu)件與所述第二支架之間連接有第二彈性構(gòu)件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持單元，其中，所述第一保持構(gòu)件的與所述第一保持構(gòu)件面向所述基板的接觸部相反的按壓表面上附接有一由彈性材料制成的按壓構(gòu)件，并且所述第二保持構(gòu)件的與所述第二保持構(gòu)件面向所述基板的接觸部相反的按壓表面上附接有一由彈性材料制成的按壓構(gòu)件。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持單元，其中，所述第一支架的面向所述第一保持構(gòu)件的按壓表面的一個(gè)表面上附接有一由彈性材料制成的按壓構(gòu)件，所述第一保持構(gòu)件的按壓表面與所述第一保持構(gòu)件的面向所述基板的接觸部相反；并且所述第二支架的面向所述第二保持構(gòu)件的按壓表面的一個(gè)表面上附接有一由彈性材料制成的按壓構(gòu)件，所述第二保持構(gòu)件的按壓表面與所述第二保持構(gòu)件的面向所述基板的接觸部相反。
9.一種劃片設(shè)備，其包括：
基板運(yùn)送單元，其保持和運(yùn)送基板；以及
劃片單元，其在由所述基板運(yùn)送單元運(yùn)送的所述基板上形成劃片線，
其中，所述基板運(yùn)送單元包括根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的基板保持單元。
10.一種劃片設(shè)備，其包括：
基板運(yùn)送單元，其保持和運(yùn)送基板；
劃片單元，其在由所述基板運(yùn)送單元運(yùn)送的所述基板上形成劃片線；以及
支撐單元，當(dāng)所述基板的前緣進(jìn)入劃片處理區(qū)域時(shí)，所述支撐單元支撐所述基板的前緣，其中，在所述劃片處理區(qū)域中，所述劃片單元在所述基板上形成劃片線，從而在所述基板的前緣處形成劃片線，
其中，所述基板運(yùn)送單元和所述支撐單元中的至少其中之一包括根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的基板保持單元。
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