[發明專利]通過焦點補正量測高斷差膜層間的堆疊精度方法在審
| 申請號： | 201611235710.8 | 申請日： | 2016-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN106483692A | 公開（公告）日： | 2017-03-08 |
| 發明（設計）人： | 龔成波 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知識產權代理事務所44265 | 代理人： | 林才桂,劉巍 |
| 地址： | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 通過 焦點 補正 測高 斷差膜層間 堆疊 精度 方法 | ||
【權利要求書】：
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