[發(fā)明專利]消除微球表面靜電的裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611235616.2
• 申請日: 2016-12-28
• 公開（公告）號: CN106714439B
• 公開（公告）日: 2023-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張玲;陳果;何小珊;何智兵;王濤;劉艷松;李俊
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H05F3/04
• 代理公司: 成都虹橋?qū)＠聞?wù)所(普通合伙) 51124
• 代理人: 楊長青

1.消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：包括石英諧振腔(1)以及盤繞于所述石英諧振腔(1)外側(cè)的天線(10)，所述天線(10)為盤香型且與射頻匹配網(wǎng)絡(luò)(11)連接；所述石英諧振腔(1)外側(cè)安裝真空測量的電阻單元(3)和電離單元(4)，以及真空抽氣口(12)和進(jìn)氣口(6)，石英諧振腔(1)上還配置接地位(7)。

2.如權(quán)利要求1所述的消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：所述石英諧振腔(1)包括圓柱狀的腔壁以及連接于腔壁兩端的上密封蓋(2)和下密封蓋(5)，電阻單元(3)、電離單元(4)和進(jìn)氣口(6)安裝于上密封蓋(2)，接地位(7)和真空抽氣口(12)設(shè)置于下密封蓋(5)。

3.如權(quán)利要求1所述的消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：所述真空抽氣口(12)上還設(shè)置插板閥(13)。

4.如權(quán)利要求1所述的消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：所述天線(10)的中心位于石英諧振腔(1)的軸線上。

5.如權(quán)利要求1所述的消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：所述石英諧振腔(1)內(nèi)還設(shè)置樣品支架(8)，樣品支架(8)上設(shè)置托盤(9)。

6.消除微球表面靜電的方法，其特征在于：通過上述權(quán)利要求1至5任一權(quán)利要求所述消除微球表面靜電的裝置來消除微球表面靜電，包括以下步驟：

步驟一、配置微球樣品于托盤(9)中，將托盤(9)置于石英諧振腔(1)內(nèi)；

步驟二、對石英諧振腔(1)進(jìn)行抽真空，再向石英諧振腔(1)內(nèi)通入放電氣體，所述放電氣體不會與待處理的微球樣品發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，且放電氣體離解后不產(chǎn)生與待處理的微球樣品發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；

步驟三、開啟射頻電源，通過射頻匹配網(wǎng)絡(luò)(11)向天線(10)提供射頻信號，根據(jù)所選放電氣體產(chǎn)生的等離子體刻蝕效應(yīng)確定射頻信號施加的時長；石英諧振腔(1)內(nèi)產(chǎn)生等離子體，微球樣品暴露在等離子體環(huán)境中，等離子體中的離子、電子分別與待處理的微球表面負(fù)電荷、正電荷相中和；

步驟四、重復(fù)上述步驟三，直至消除微球表面靜電。

7.如權(quán)利要求6所述的消除微球表面靜電的方法，其特征在于：步驟二中，對石英諧振腔(1)進(jìn)行抽真空，使石英諧振腔(1)的氣壓低于1×10^-3Pa；再向石英諧振腔(1)內(nèi)通入放電氣體，使石英諧振腔(1)的氣壓為20-40Pa。

8.如權(quán)利要求6所述的消除微球表面靜電的方法，其特征在于：步驟三中，所述放電氣體為氫氣或惰性氣體。

9.如權(quán)利要求6所述的消除微球表面靜電的方法，其特征在于：步驟三中，所述的射頻信號通過射頻發(fā)生源產(chǎn)生，其頻率為13.56MHz、27.12MHz或40.68MHz。

10.如權(quán)利要求6所述的消除微球表面靜電的方法，其特征在于：步驟三中，射頻信號施加的時長為不超過60s。