[發(fā)明專利]一種三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法及制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611235115.4
• 申請日: 2016-12-28
• 公開（公告）號: CN106653947B
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 許軍;鐵劍銳;韓志剛;陳潔
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第十八研究所;天津恒電空間電源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 劉昕

1.一種三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征是包括對劃片后的半成品太陽電池進行以下步驟：

a.使用濃HCl對GaInP子電池邊緣進行濕法腐蝕鈍化；

b.使用酸性H₂O₂腐蝕液對Cap層及GaInAs子電池邊緣進行濕法腐蝕鈍化；

c.蒸鍍減反射膜同時對太陽電池的側(cè)截面進行介質(zhì)膜沉積鈍化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征在于：所述步驟a中的鈍化方法為將所述劃片后的半成品太陽電池浸入濃HCl中20-50s，然后經(jīng)去離子水多次沖洗。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征在于：所述步驟b中的鈍化方法為將所述步驟a所得半成品太陽電池浸入酸性H₂O₂腐蝕液中1.5-2.0min。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征在于：所述酸性H₂O₂腐蝕液為C₆H₈O₇、H₂O與H₂O₂的混合溶液。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征在于：所述C₆H₈O₇、H₂O與H₂O₂的混合溶液中C₆H₈O₇：H₂O：H₂O₂的質(zhì)量比為3：3：1-8：8：1。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征在于：所述步驟c為蒸鍍Ti₂O₃/Al₂O₃雙層減反射膜，使介質(zhì)膜蒸汽沉積在太陽電池的受光面同時在劃開的太陽電池單體側(cè)截面也形成有效的沉積，所述雙層減反射膜厚度為100nm-150nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征在于：還包括在所述步驟a之前進行步驟a1，所述步驟a1為清洗所述劃片后的半成品太陽電池表面的可溶性油污、部分金屬離子和氧化物。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征在于：所述步驟a1為使用乙醇、NaOH溶液和HCl溶液中的一種或多種對所述劃片后的半成品太陽電池表面進行清洗。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的三結(jié)砷化鎵太陽電池鈍化方法，其特征在于：所述NaOH溶液為5％NaOH去離子水溶液，所述HCl溶液為H₂O：HCl體積比為2:1的溶液。

10.一種三結(jié)砷化鎵太陽電池的制備方法，其特征是包括以下步驟：

1).外延；

2).光刻；

3).上電極蒸鍍；

4).下電極蒸鍍；

5).燒結(jié)；

6).劃片；

7).對由步驟6)得到的太陽電池半成品進行鈍化，所述鈍化采用如權(quán)利要求1-9任一所述的鈍化方法。