[發明專利]用于真空腔體內外管路連接的密封裝置

在審

• 申請號: 201611234783.5
• 申請日: 2016-12-28
• 公開（公告）號: CN107035925A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 井治;張超群;葛治亮;王程;王貝
• 申請（專利權）人: 中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: F16L23/032
• 分類號: F16L23/032;F16L23/024;F16L23/18
• 代理公司: 上海碩力知識產權代理事務所31251
• 代理人: 王法男

技術領域

本發明涉及一種用于真空腔體內外管路連接的密封裝置，尤其涉及滿足外界管路和真空腔體內管路連接的同時，又能滿足密封條件的密封裝置。所述裝置可用于真空腔體內液體或氣體的輸送管路連接。

背景技術

對于大面積磁控濺射鍍膜設備來說，腔體內有很多管路需要與外部管路相連接。傳統的管路連接裝置在真空腔體內有多處連接點，連接點的數量越多，存在的泄漏點也越多，而且連接點的密封存在很大的人為因素，不容易控制。傳統的管路連接裝置對后期的檢漏工作也增加一定的負擔。

而目前并沒有一種能夠解決上述問題的密封裝置。

發明內容

針對現有技術存在的技術缺陷，本發明的旨在解決傳統管路連接裝置在腔體內存在過多連接點，徹底解決管路在腔體內部泄露的隱患，減輕檢漏的負擔。

為了達成上述目的，本發明提供了一種用于真空腔體內外管路連接的密封裝置，包括管路接頭，止退環，連接法蘭，密封圈，O型環，O型圈，快卸卡箍，和腔體法蘭，所述管路接頭從所述腔體法蘭內孔穿出，所述密封圈套在所述管路接頭的凹槽內，所述連接法蘭套在所述管路接頭上，所述連接法蘭的內孔表面與所述密封圈緊密貼合，所述止退環卡入所述管路接頭的凹槽內，并用螺釘與所述連接法蘭固定，所述O型圈套在所述O型環上，然后將所述O型圈卡入所述連接法蘭和所述腔體法蘭之間，并且通過所述快卸卡箍將所述連接法蘭與所述腔體法蘭卡緊。

一些實施例中，所述管路接頭的一端為螺紋口，一端為圓管口，所述圓管口與管路焊接成一整體。

一些實施例中，所述腔體法蘭的法蘭面能與O型圈配合。

一些實施例中，所述密封圈同時與所述管路接頭的凹槽底面和所述連接法蘭的內孔表面緊密貼合。

一些實施例中，所述止推環將所述管路接頭固定在所述連接法蘭上，同時限制所述管路接頭的軸向運動

一些實施例中，所述O型環將所述O型圈限定在兩個法蘭面之間，從而保證所述O型圈同時與所述連接法蘭和所述腔體法蘭的法蘭面接觸。

一些實施例中，所述快卸卡箍夾緊所述連接法蘭和所述腔體法蘭，使兩者同時與所述0型圈緊密貼合，達到密封效果。

根據本發明的用于真空腔體內管路的連接裝置，能有效的解決了傳統的管路連接裝置在腔體內連接點的數量過多的問題，避免了人為安裝造成連接點泄露情況的發生，對后期檢漏工作帶來很大的便利。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本發明的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：

圖1示出了根據本發明的具體實施方式的用于真空腔體內管路的連接裝置的側視圖；

圖2示出了根據圖1中A-A線的剖視圖。

具體實施方式

為了更好的使本發明的技術方案清晰的表示出來，下面結合附圖對本發明作進一步說明。

圖1和2示出了本發明的具體實施方式的用于真空腔體內管路的連接裝置。

如圖1和2所示，根據本發明實施例的用于真空腔體內管路連接裝置，該裝置由管路接頭1、止退環2、連接法蘭3、密封圈4、O型環5、O型圈6、快卸卡箍7和腔體法蘭8組成。管路接頭1與管路焊接后從腔體法蘭8內孔穿出。密封圈4套在管路接頭1凹槽內，連接法蘭3套在管路接頭1上，連接法蘭3內孔表面與密封圈4緊密貼合。止推環2卡入管路接頭1凹槽內，并用螺釘與連接法蘭3連接。O型圈6套在O型環5上，然后將其卡入連接法蘭3和腔體法蘭8之間。用快卸卡箍7將連接法蘭3與腔體法蘭8卡緊。

管路接頭1一端螺紋口，一端圓管口。圓管口與管路焊接成一整體。管路接頭1螺紋口從腔體法蘭8內孔穿出。

密封圈4套在管路接頭1凹槽內，連接法蘭3套在管路接頭1上，密封圈4同時與管路接頭1凹槽底面和連接法蘭3內孔表面緊密貼合，起到密封作用。

止推環2卡入管路接頭1凹槽內，并用螺釘與連接法蘭3連接，止推環2將管路接頭1固定在連接法蘭3上，同時限制管路接頭1的軸向運動。

O型圈6套在O型環5上，將其卡入連接法蘭3和腔體法蘭8之間，O型環5將O型圈6限定在兩個法蘭面之間，保證O型圈6同時與連接法蘭3和腔體法蘭8的法蘭面接觸。

快卸卡箍7將連接法蘭3與腔體法蘭8卡緊，使兩者同時與0型圈6緊密貼合，達到密封效果。

根據本發明的用于真空腔體內管路的連接裝置，能有效的解決了傳統的管路連接裝置在腔體內連接點的數量過多的問題，避免了人為安裝造成連接點泄露情況的發生，對后期檢漏工作帶來很大的便利。

以上對本發明的具體實施例進行了描述。需要理解的是，本發明并不局限于上述特定實施方式，本領域技術人員可以在權利要求的范圍內做出各種變形或修改，這并不影響本發明的實質內容。