[發明專利]一種雙聲表面波應變傳感器及其設計方法在審
| 申請號： | 201611233408.9 | 申請日： | 2016-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN106840056A | 公開（公告）日： | 2017-06-13 |
| 發明（設計）人： | 彭斌;鄧澤佳;張萬里;李凌;崔亦霖;弓冬冬;周偉;謝小偉;喻恒 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01B17/04 | 分類號： | G01B17/04 |
| 代理公司： | 電子科技大學專利中心51203 | 代理人： | 閆樹平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 雙聲 表面波 應變 傳感器 及其 設計 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種雙聲表面波應變傳感器，包括第一SAW諧振器、第二SAW諧振器和一塊硅酸鎵鑭LGS壓電基片,其特征在于：
第一、第二SAW諧振器互為2X°夾角制作在LGS壓電基片上，并以并聯的方式進行電路連接，其中80<X<90或0<X<10。
2.如權利要求1所述雙聲表面波應變傳感器，其設計方法具體如下：
在一塊LGS壓電基片歐拉角為0°，138.5°，90+X°的切向上制作第一SAW諧振器，并在該壓電基片歐拉角為0°，138.5°，90-X°的切向上制作第二SAW諧振器，兩個SAW諧振器的主體結構即IDT和反射柵之間不相互接觸，再將兩個SAW諧振器以并聯的方式進行電路連接。
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