[發明專利]測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法

有效

• 申請號: 201611230245.9
• 申請日: 2016-12-27
• 公開（公告）號: CN106782239B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 孟林
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1、提供一待測LTPS顯示面板，所述待測LTPS顯示面板包括：基板(1)、設于所述基板(1)上的緩沖層(2)、設于所述緩沖層(2)上的有源層(3)、設于所述有源層(3)和緩沖層(2)上的柵極絕緣層(4)、設于所述柵極絕緣層(4)上的第一金屬層(5)、設于所述第一金屬層(5)以及柵極絕緣層(4)上的層間絕緣層(6)、設于所述層間絕緣層(6)上的第二金屬層(7)、設于所述第二金屬層(7)以及層間絕緣層(6)上的有機平坦層(8)；

所述第一金屬層(5)包括對應所述有源層(3)設置的柵極(51)、以及與所述柵極(51)電性連接的柵極線(52)；

所述第二金屬層(7)包括分別與所述有源層(3)的兩端接觸的源極(71)和漏極(72)、以及與所述柵極線(52)電性連接的柵極驅動電路連接線(73)；

所述第二金屬層(7)的材料為兩層第一金屬材料(74)夾一層第二金屬材料(75)，所述第二金屬材料(75)為鋁；

步驟S2、提供一化學試劑，所述化學試劑在預設的反應條件下能夠使有機平坦層(8)和鋁分別發生化學反應，并且不會使第一金屬材料(74)發生化學反應，用所述化學試劑在預設反應條件下使得所述有機平坦層(8)以及鋁分別化學反應，剝離有機平坦層(8)、第二金屬層(7)中的鋁、以及第二金屬層(7)中的位于鋁和有機平坦層(8)之間的第一金屬材料(74)，保留所述第二金屬層(7)中位于遠離所述有機平坦層(8)一側的第一金屬材料(74)；

步驟S3、提供三根測試扎針(9)，用所述三根測試扎針(9)分別接觸所述保留的第二金屬層(7)中的源極(71)、漏極(72)、以及所述柵極驅動電路連接線(73)，得出該待測LTPS顯示面板的TFT電性曲線。

2.如權利要求1所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法，其特征在于，所述第一金屬材料(74)為鈦。

3.如權利要求2所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法，其特征在于，所述步驟S2中提供的化學試劑為質量百分濃度在65％-98％的發煙硝酸，所述預設的反應條件為將待測LTPS顯示面板加熱至100℃-200℃后向待測LTPS顯示面板的待測區域滴加發煙硝酸。

4.如權利要求3所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法，其特征在于，所述步驟S2中剝離有機平坦層(8)、第二金屬層(7)中的鋁、以及第二金屬層(7)中的位于鋁和有機平坦層(8)之間的第一金屬材料(74)的具體方法為在待測LTPS顯示面板的表面堆積發黃絮狀物后停止滴加發煙硝酸，并靜置冷卻，隨后使用超聲清洗機清洗待測LTPS顯示面板10-30分鐘，清洗溫度為50℃-80℃，然后將待測LTPS顯示面板吹干。

5.如權利要求1所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法，其特征在于，所述第一金屬材料(74)為鉬。

6.如權利要求5所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法，其特征在于，所述步驟S2中提供的化學試劑為摩爾濃度大于或等于1mol/L的氫氧化鉀溶液，所述預設的反應條件為將待測LTPS顯示面板放置于氫氧化鉀溶液中加熱至70℃-100℃，持續加熱10-30分鐘。

7.如權利要求6所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法，其特征在于，所述步驟S2中剝離有機平坦層(8)、第二金屬層(7)中的鋁、以及第二金屬層(7)中的位于鋁和有機平坦層(8)之間的第一金屬材料(74)的具體方法為持續加熱10-30分鐘后所述待測LTPS顯示面板完成膜層剝離時將所述待測LTPS顯示面板從氫氧化鉀溶液中取出吹干。