[發(fā)明專利]層壓體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611229273.9
• 申請日: 2016-12-27
• 公開（公告）號: CN106997148B
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設計）人: 山田有里
• 申請（專利權）人: 旭化成株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09;H05K3/06
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種層壓體，其特征在于，其具備基底膜、以及設置在所述基底膜上的包含感光性樹脂組合物的感光性樹脂層，

所述感光性樹脂組合物包含

（A）堿溶性高分子、

（B）含烯屬不飽和鍵的化合物、

（C）光聚合引發(fā)劑、

（D）添加劑；以及

（E）阻聚劑，

所述（B）含烯屬不飽和鍵的化合物包含選自由下述通式（III）所示的三（甲基）丙烯酸酯化合物以及下述通式（VI）所示的鄰苯二甲酸酯化合物組成的組中的至少1種，

式（III）中，R₅、R₆和R₇各自獨立地表示氫原子或甲基；X表示碳數(shù)2~6的亞烷基；m₂、m₃和m₄各自獨立地為0~40的整數(shù)，m₂+m₃+m₄為1~40，并且，m₂+m₃+m₄為2以上時，多個X彼此相同或不同；

式（VI）中，A表示C₂H₄；R₆₁表示氫原子或甲基；R₆₂表示氫原子、甲基或鹵代甲基；R₆₃表示碳數(shù)1~6的烷基、鹵素原子或羥基；a為1~4的整數(shù)；k為0~4的整數(shù)，并且，k為2以上的整數(shù)時，多個R₆₃相同或不同，

所述（D）添加劑包含不含羧基而含氨基的苯并三唑化合物，所述（E）阻聚劑包含環(huán)氧化合物，

所述基底膜能夠從所述感光性樹脂層剝離，且

所述感光性樹脂組合物滿足下述數(shù)學式（1）所示的關系：

W_X-D_X≤5μm （1）

式（1）中，W_X是指：將所述感光性樹脂層在液體的存在下層壓在具有100μm寬和5μm深的槽的基板上，然后通過曝光和顯影而得到的抗蝕圖案中，以相對于200μm寬的抗蝕線寬的最小間距寬度的形式規(guī)定的分辨率（μm），且

D_X是指：在不存在液體下將所述感光性樹脂層層壓在所述基板上，然后通過曝光和顯影而得到的抗蝕圖案中，以相對于200μm寬的抗蝕線寬的最小間距寬度的形式規(guī)定的分辨率（μm）。

2.根據(jù)權利要求1所述的層壓體，其中，作為所述（B）含烯屬不飽和鍵的化合物，包含在分子中具有20摩爾以上的氧化烯烴單元的加聚性單體。

3.根據(jù)權利要求1所述的層壓體，其中，作為所述（B）含烯屬不飽和鍵的化合物，包含下述通式（II）所示的氧化烯烴改性雙酚A型二（甲基）丙烯酸酯化合物，

式（II）中，R₃和R₄各自獨立地表示氫原子或甲基；A為C₂H₄；B為C₃H₆；n₁、n₂、n₃和n₄是滿足n₁+n₂+n₃+n₄=2~50的關系的整數(shù)；-(A-O)-和-(B-O)-的重復單元的排列任選為無規(guī)或嵌段，在嵌段的情況下，-(A-O)-與-(B-O)-任選在聯(lián)苯基側。

4.根據(jù)權利要求1所述的層壓體，其中，所述（C）光聚合引發(fā)劑包含N-芳基氨基酸或其酯化合物。

5.根據(jù)權利要求4所述的層壓體，其中，所述（C）光聚合引發(fā)劑包含N-苯基甘氨酸或其酯化合物。

6.根據(jù)權利要求1所述的層壓體，其中，所述（A）堿溶性高分子包含以構成所述（A）堿溶性高分子的單體的總質量為基準計為40質量%以上的苯乙烯結構單元。

7.根據(jù)權利要求1所述的層壓體，其用于直接成像曝光。