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[發(fā)明專利]一種制備SnSe晶體的方法在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201611226276.7 申請(qǐng)日: 2016-12-27
公開(kāi)(公告)號(hào): CN108239787A 公開(kāi)(公告)日: 2018-07-03
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 金敏;蔣俊;胡皓陽(yáng);邵和助;徐靜濤;江浩川 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所
主分類號(hào): C30B29/46 分類號(hào): C30B29/46;C30B11/00
代理公司: 北京元周律知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11540 代理人: 張瑩
地址: 315201 浙江*** 國(guó)省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 斜體 晶體的 生長(zhǎng)爐 制備 生長(zhǎng) 高完整性 晶體生長(zhǎng) 爐體軸向 溫度梯度 有效減少 夾角為 多晶 申請(qǐng)
【權(quán)利要求書】:

1.一種制備SnSe晶體的方法,其特征在于,將含有SnSe多晶的原料置于斜體生長(zhǎng)爐中的容器中生長(zhǎng)得到;

所述斜體生長(zhǎng)爐的爐體軸向與水平方向的夾角為15~30°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述斜體生長(zhǎng)爐包括高溫區(qū)、中溫區(qū)和低溫區(qū);

其中,高溫區(qū)溫度為900~950℃,中溫區(qū)溫度為860~900℃,低溫區(qū)溫度為800~860℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述容器的放肩角度60~120°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的方法,其特征在于,所述容器為直徑2~4英寸的石英坩堝。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述容器中裝有SnSe籽晶,籽晶取向?yàn)?amp;lt;100>、<110>、<111>。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,至少包括以下步驟:

a)將含有SnSe多晶的原料裝入坩堝中抽真空后密封;坩堝放肩角度60~120°,裝有取向?yàn)?amp;lt;100>、<110>、<111>的籽晶;

b)將密封后的坩堝置于斜體生長(zhǎng)爐中,控制斜體反應(yīng)爐中高溫區(qū)溫度為900~950℃,中溫區(qū)溫度為860~900℃,低溫區(qū)溫度為800~860℃進(jìn)行晶體生長(zhǎng);斜體生長(zhǎng)爐的爐體軸向與水平方向的夾角為15~30°;

c)待原料中的SnSe多晶全部融化并與籽晶完成接種后,以15~20℃/h速度緩慢降至室溫,即得所述SnSe晶體。

7.根據(jù)權(quán)利要求2或6所述的方法,其特征在于,中溫區(qū)的晶體生長(zhǎng)的溫度梯度大小為3~5℃/cm,生長(zhǎng)速度為0.5~2mm/h。

8.一種晶體生長(zhǎng)爐,包括爐體、用于支撐所述爐體的爐體支架、由程序控制的加熱元件以及位于所述爐體內(nèi)的爐膛;所述爐體軸向與水平方向的夾角為15~30°。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶體生長(zhǎng)爐,其特征在于,所述爐膛分三個(gè)溫度區(qū)域:位于上部的高溫區(qū)、位于中部的中溫區(qū)、位于下部的低溫區(qū)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶體生長(zhǎng)爐,其特征在于,所述加熱元件由電阻絲纏繞形成,分為七段;其中,第1至3段對(duì)應(yīng)高溫區(qū),第4和5段對(duì)應(yīng)中溫區(qū),第6和7段對(duì)應(yīng)低溫區(qū)。

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