[發明專利]一種檢測和評價光源平行性的方法在審
| 申請號： | 201611224745.1 | 申請日： | 2016-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN106840608A | 公開（公告）日： | 2017-06-13 |
| 發明（設計）人： | 張雪鵬;藺春波;孫強 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙)22210 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 檢測 評價 光源 平行 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種檢測和評價光源平行性的方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：
步驟一：將兩塊具有周期性的光柵相對放置，將待檢測光源置于兩塊光柵一側，CCD置于兩塊光柵另一側；
步驟二：待檢光源在第一光柵表面上形成的波面半徑為R1，在第二光柵表面上形成的波面半徑為R2；待檢光源投射到第一光柵的像透過第二光柵形成莫爾條紋，通過CCD測得；
步驟三：根據莫爾條紋的寬度、第一光柵在第二光柵上像的放大倍率，兩個光柵之間的距離和夾角和第一光柵與第二光柵的周期，通過MATLAB計算得到待檢光源在第一光柵表面的波面半徑R1，R1作為待檢光源平行性的評價手段。
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