[發(fā)明專(zhuān)利]一種陣列電極式MEMS液體角度陀螺儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611224143.6
• 申請(qǐng)日: 2016-12-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106840134B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜開(kāi)春;徐瀚洋;趙玉龍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01C19/00
• 分類(lèi)號(hào): G01C19/00;G01C9/18
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種陣列電極式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：包括通過(guò)真空鍵合工藝進(jìn)行封裝的下基板(3)、中間基板(2)和上基板(1)，下基板(3)中心有環(huán)形的第一疏水層(6-1)，第一疏水層(6-1)外環(huán)有環(huán)形金屬電極(7)；下基板(3)上部的中間基板(2)包括內(nèi)圓盤(pán)和外圓盤(pán)，外圓盤(pán)的內(nèi)壁和內(nèi)圓盤(pán)的外壁有第二疏水層(6-2)，內(nèi)圓盤(pán)和外圓盤(pán)同心，內(nèi)圓盤(pán)和外圓盤(pán)之間構(gòu)成一個(gè)環(huán)形溝槽，環(huán)形溝槽設(shè)有水銀液滴(4)；中間基板(2)上部的上基板(1)中心有對(duì)應(yīng)與下基板(3)的第一疏水層(6-1)位置的環(huán)形陣列電極(5)；

封裝過(guò)程中，控制下基板(3)的第一疏水層(6-1)與上基板(1)的環(huán)形陣列電極(5)保持同軸且位置一致；

環(huán)形溝槽的寬度應(yīng)當(dāng)與第一疏水層(6-1)的寬度相同，且兩者同軸并保持位置一致。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陣列電極式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的上基板(1)采用單晶硅材料，環(huán)形陣列電極(5)采用金材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陣列電極式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的中間基板(2)采用玻璃材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陣列電極式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的下基板(3)采用單晶硅材料，預(yù)先對(duì)下基板(3)進(jìn)行疏水處理，采用磁控濺射的工藝在已覆蓋第一疏水層(6-1)的下基板(3)上表面沉積一層環(huán)形金屬電極(7)，并保留中間環(huán)形的第一疏水層(6-1)，環(huán)形金屬電極(7)材料與環(huán)形陣列電極(5)材料一致。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陣列電極式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的水銀液滴(4)的直徑與中間基板(2)的環(huán)形溝槽寬度相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陣列電極式MEMS液體角度陀螺儀，其特征在于：所述的水銀液滴(4)直徑小于中間基板(2)的厚度，水銀液滴(4)不與上基板(1)的環(huán)形陣列電極(5)相接觸。